판매용 중고 HITACHI S-5200 #293629673
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HITACHI S-5200은 연구 및 산업 응용 분야에서 다양한 재료와 표면을 특징짓도록 설계된 SEM (Scanning Electron Microscope) 입니다. 고해상도 이미징을 제공하여 반도체 장치 분석, 고장 분석, 재료 분석, 미세 구조 이미징에 이상적입니다. HITACHI S 5200 은 시장에서 가장 강력한 SEM 중 하나로, 스테이지 방향, 빔 설정 위치, 광대역 이미징, 표면 기능의 고해상도 이미징 등 다양한 스캐닝/분석 기능을 갖추고 있습니다. 2 차 및 백스캐터링 된 전자를 모두 캡처하여 샘플 표면의 자세한 이미지를 생성하는 이미징 검출기 (Imaging Detector) 가 장착되어 있습니다. S-5200은 또한 매우 정확한 단계를 갖추고 있으며, 수동 X-Y 및 자동 X-Y 스캔 모드를 모두 제어 할 수 있습니다. 이 스테이지는 연속 선형 및 원형 패턴, 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 및 스팟 스캐닝, 멀티 포인트 스캐닝 등 정확한 위치를 보장하기 위해 광범위한 이동 궤적을 제공합니다. 또한 S 5200에는 자동 웨이퍼 로딩 시스템이 장착되어 있어 최대 25mm 두께의 웨이퍼를 자동 로드 및 언로드할 수 있습니다. 분석을 위해 HITACHI S-5200에는 다양한 에너지 분산 X-ray (EDX) 및 WDX (Wavelength Dispersive X-ray) 검출기가 장착되어 있으며, 이는 샘플 내 다른 원소의 화학 성분을 측정합니다. 화학 조성 분석에 추가 전자 에너지 손실 분광법 (EELS) 검출기를 사용할 수 있으며, 이는 원소 간의 화학 결합 측정을 가능하게한다. HITACHI S 5200은 강력하고 다양한 스캐닝 전자 현미경으로, 다양한 연구 및 산업 응용에 이상적입니다. 이미징 (Imaging) 과 분석 (Analytical) 기능을 결합하면 다양한 샘플의 이미지 분석이 가능하며, 자동 웨이퍼 로딩 시스템을 통해 빠르고 쉬운 샘플 처리가 가능합니다.
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