판매용 중고 HITACHI RS-4000 #9036353
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9036353
Scanning electron microscope (SEM), 8"-12"
Includes:
Process evaluation: Litho, etch, CMP
Beam tilt: 10°
Laser darkfield microscope, EDX 15 kV
SEM:
Ip = <10pA ... 200pA
Darkfield OM:
Laser scatterlight (B/W)
Field of view (ca.): 620 um (220x)
Illumination level: Manually adjustable
For particles >1 um strong interference patterns appear
CCD Bad pixel calibration possible: No
Brightfield OM:
Field of view (ca.): 620 um (220x)
B/W only
Cassette interface:
(2) 12" Load-ports
8" Load ports: No
Robot handler (single end effector)
Status lamp (R/Y/G/B)
GEM/SECs
Sub-Fab (supporting) equipment:
Equipment rack (power box)
(2) BOC EDWARDS EPX-180LE Dry pumps
(1) Cryo tiger cryo compressor
EDX (Option), 15 kV:
Automatic defect re-detection
Automatic defect classification
Vacc: 500 V - 5 kV (auto.), resp. 15 kV (man.)
SEM Pixels: 512 or 1024
SEM Magnification minimum: 1000x (140 µm FOV)
SEM Magnification maximum: 200000x (0,7 µm FOV)
Detector SEM:
Left topography (BSE)
Right topography (BSE)
SE
VC
Image display SEM: Live and average mode
OM: DF + BF
OM Magnification:
220x (ca. 620µm)
440x (by digital zoom)
Tilt: 10° (beam tilt)
Stage rotation: No
Stage accuracy: +/- 1µm
Image resolution SEM: 3.0 nm (800 eV)
Auto EDX: Yes
Defect sensitivity
MTBF: 1000 Hrs
Downtime per month: 6 Hrs
Particle contamination
Front side: Maximum 7 adders >0.16µm
Back side:
Maximum: 3500 adders > 0.2µm
Maximum: 100 adders > 5.0 µm (incl. clusters)
Throughput:
10 Wafer / h (50 Defects)
900 Defects+ADC/h (1wafer)
Manual loading without defect file: Yes
FIB Vacc: No FIB
Milling accuracy
Milling frame size
Measurement requirements:
AST in current software: No
Lowest SEM magnification: 1000x
Maximum voltage for automatic ADR and EDS 5kV
15kV for manual EDS
Minimum voltage 500V
Image mixing: Ok
Manual loading without defect file: Ok
NORAN System: (6) EDS will be offered
Stage resolution: Ok
Beam tilt: 10°
Image resolution at 800eV: 3.0nm
230 VAC (6kVA), Single phase, 50 Hz
CE Marked
Currently stored in clean room
2005 vintage.
HITACHI RS-4000은 주사 전자 현미경 (SEM) 으로, 중점 전자 빔을 사용하여 다양한 물질을 시각화하고 분석하기위한 이미지를 만듭니다. 표본의 지형 및 화학 조성을 최적으로 대조하기 위해 고급 에너지 필터링 (energy filtering) 기술을 사용합니다. 또한 SBEDX (Scanning Beam Energy Dispersive X-ray) 를 사용하여 샘플의 원소 조성을 측정합니다. 현미경은 다중 스펙트럼 이미징 모드 (multi-spectral imaging mode) 를 특징으로하며, 서로 다른 파장에서 4 개의 다른 이미지를 동시에 얻을 수 있으며, 샘플의 물리적, 화학적, 구조적 특성을 완전히 시각화 할 수 있습니다. HITACHI RS 4000은 다양한 오브젝티브 렌즈 확대 기능 (최대 500배) 을 갖춘 초고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 통합된 자동 고정 기능 (auto-stigmation function) 을 통해 수동 조정이 필요 없는 상태에서 전자 빔을 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 원격 제어 장비가 내장되어 있어 시스템 원격 모니터링 (remote monitoring) 및 작동이 가능합니다. RS-4000 은 고해상도 이미징 외에도 다양한 분석 기능을 제공합니다. 넓은 영역에서 서피스 지형, 레이어 두께, 3D 샘플 매개변수를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 X- 선 형광, 에너지 분산 X- 선 분광법 (EDS) 및 전자 백스캐터 회절 (EBSD) 을 사용하여 필름, 안경 및 금속과 같은 표본 코팅을 특성화하는 기능이 있습니다. RS 4000은 재료 특성, 야금 연구, 마이크로 일렉트로닉스, 의료 연구, 법의학 조사 등 다양한 응용 분야에 사용될 정도로 다양합니다. 고해상도 2 차 전자 (SE) 이미징, QB (Quasi-backscatter) 이미징 및 초고해상도, BE (Large-of-View Backscattered Electron) 검출기를 포함한 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 단일 스캔에서 지형 및 화학 정보를 모두 얻을 수 있습니다. HITACHI RS-4000 은 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 개방형 아키텍처는 자동화된 프로세스에 신속하게 통합할 수 있습니다. 이 장치는 사용자 친화적이며, 실험 설정, 스캔 실행 제어, 데이터 검토 등을 위한 직관적인 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 또한, 이 시스템은 유지 보수 및 교육, 소프트웨어 개발에 이르기까지 다양한 지원 서비스를 제공합니다. HITACHI RS 4000 은 안정성과 유연성을 갖춘 SEM 기능을 필요로 하는 실험실 및 연구소에 적합한 솔루션으로, 사용자에게 친숙한 설계와 고급 기능을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다