판매용 중고 HITACHI RS-4000 #293608920

HITACHI RS-4000
ID: 293608920
웨이퍼 크기: 8"
Defect Review Scanning Electron Microscope (DRSEM), 8".
HITACHI RS-4000은 다양한 샘플 분석 기능과 결합된 고해상도, 대규모 심도 필드 이미징을 제공 할 수있는 SEM (Scanning Electron Microscope) 입니다. 이 기기는 3.5 nm의 해상도와 최대 100 nm 깊이의 필드를 달성 할 수 있습니다. HITACHI RS 4000에는 원소 분석을위한 EDX 검출기가 장착되어 있으며 BSE (backscattered electron) 모드에서 표본을 이미징 할 수 있습니다. 이 장비에는 자동화된 스테이지와 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 이 포함되어 있어 손쉽고 정확한 이미지를 얻을 수 있습니다. RS-4000은 렌즈 내 유형의 2 차 전자 (SE) 검출기를 사용하여 탐지 효율성을 향상시키고 밝은 대비 영상을 허용합니다. 이 검출기는 최대 1M 전자/01 초를 수집 할 수 있습니다. RS 4000에는 5 축 이동과 최대 160mm 사각형 크기의 자동 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 단계에는 자동화 소프트웨어 패키지 (automation software package) 가 함께 제공되어 실시간으로 스테이지를 정확하게 제어할 수 있습니다. HITACHI RS-4000에는 저kV 가변 압력 이미징, 에너지 분산 분광법 (EDS) 및 x- 선 매핑을 포함한 다양한 특수 이미징 기술이 포함되어 있습니다. 로우 -kV 가변 압력 이미징 (low-kV variable pressure imaging) 은 기존의 슬라이싱 및 마운팅 방법이 필요 없이 샘플의 효율적인 3D 맵을 제공하는 데 사용될 수 있습니다. EDS 장치를 사용하면 원자 번호가 4 ~ 92 인 요소의 고해상도 매핑이 가능합니다. 엑스레이 매핑 머신 (x-ray mapping machine) 은 진공 상태가 높지 않고도 실온에서 샘플을 신속하게 조사 할 수 있습니다. HITACHI RS 4000 (HITACHI RS 4000) 에는 가스 주입 도구 (gas injection tool) 를 포함한 다양한 액세서리가 제공되며, 이를 통해 샘플의 습도와 압력을 제어하기 위해 표본실에 가스를 주입 할 수 있습니다. 이 자산에는 냉각 모델도 포함되어 있으며, 고해상도 이미징 시 열 보호 기능을 제공합니다. 또한, RS-4000은 다양한 2 차 전자 검출기 및 냉음극 검출기와 함께 사용될 수있다. 사용 편의성을 보장하기 위해 RS 4000에는 포괄적인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 패키지는 자동 이미징 및 분석 기능, CAD 드로잉 도구, 간단한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 마지막으로, 장비는 장기적인 안정성을 위해 설계되었으며, 장기간 운영을 보장하기 위해 일상적인 유지 보수 (maintenance) 및 조정 (calibration) 서비스를 제공합니다.
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