판매용 중고 HITACHI RS-3000 #143918
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판매
ID: 143918
웨이퍼 크기: 8", 12"
빈티지: 2004
Patterned inspection review SEM, 8" and 12"
Specifications:
Upgraded from HITACHI RS-3000
Wafer size: 8" and 12"
SMIF type
8" notched wafers
Configuration:
Column unit
SEI device: 4 Pole
IP1, 2, 3
Gun Head and cable
Gun power supply
Turbo pump: 3 TMPs
EVAC system
Stage system
OM device
Loader system: 2 chambers
Control console unit:
Main host
Terminal PC
Data back-up device
control rack
Main & sub monitor
Power supply:
Back-up battery
IP power supply
Gun bake system
C to C unit:
Robot system: Single blade
Cassette and loader type: 2 Cassettes with SMIF Type
ARM: Single
Other ACC:
(Qty 2) Dry-pump
Isolation block
(Qty 2) Vacuum hose
Data processing console
Data monotor PC
Optional accessories:
(Qty 2) Manual (paper or CD)
SEM ORG CD
SEM back-up CD
Calibration data stored in HDD
Currently de-installed
Can be inspected and demonstrated
Last used in 2010
Stored in a cleanroom Q3 2010
2004 vintage.
HITACHI RS-3000은 현미경 표본의 자세한 이미지를 제공하기 위해 설계된 주사 전자 현미경 (SEM) 입니다. 세엠 (SEM) 을 통해 사용자는 전자 광학 (electron optics) 을 사용하여 지형 (togography) 및 원소 구성 (elemental composition) 과 같은 샘플의 특성을 관찰 할 수 있습니다. 연구 개발, 산업 응용 프로그램, 교육 실험 등 다양한 응용 프로그램이 있습니다. SEI에는 180KV 텅스텐 필라멘트 소스와 고해상도 4Kx4K 비디오 카메라가 장착되어 있습니다. 완전 자동 (Fully Automated) 샘플 스테이지가 장착되어 있어 샘플을 빠르고 정확하게 스캔할 수 있습니다. SEM은 2 차 및 백스캐터 이미징 모드 모두에서 13.7nm의 고해상도를 가지며, 높은 수준의 디테일을 제공합니다. 명암비는 10: 1이므로 샘플의 정확한 해석이 간단합니다. 또한 SEM (Automated Backscatter Detector) 을 통해 광범위한 재료를 신속하게 이미징할 수 있습니다. HITACHI RS 3000 SEM에는 사용자 친화적인 소프트웨어 패키지가 장착되어 있어, 현미경의 작동이 간편하고 효율적입니다. 소프트웨어 패키지에는 일부 이미지 컨트롤 (예: 대비, 밝기, 이미지 확대, 이미지 저장) 이 포함되어 있습니다. 또한 막대 그래프, 클러스터, 이미지 스티칭 등 다양한 도구를 사용하여 이미지를 분석할 수 있습니다. RS-3000은 유리, 금속, 플라스틱, 종이와 같은 다양한 표면에서 사용할 수있는 벤치탑 시스템입니다. 자동 정렬 시스템 (Automatic Alignment System) 이 장착되어 있어서 SEM을 쉽게 설정하고 사용할 수 있습니다. 높은 수준의 정확성과 유연성으로 인해 시스템은 다양한 어플리케이션에 이상적입니다. RS 3000 SEM은 신뢰할 수 있고, 강력하며, 다양한 목적으로 적합한 현미경입니다. 고해상도 이미지, 효율적인 스캐닝 (scanning) 기능, 사용자 친화적 인 소프트웨어 패키지를 제공하여 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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