판매용 중고 HITACHI CG-5000 #9389318
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판매
ID: 9389318
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
Scanning Electron Microscopes (SEM), 12"
(3) Ports
C to C Auto loader
With Load / Lock system
Power cable (ISM): Main<->P
Electrified Sample Correction (SPM)
Auto calibration system by using stub pattern
Multi-Point / Gap / Comer radious measurement function
Image filing function
Recipe queue
TDK FOUP Opener
With RFID
EDWARDS iGX100 Dry pump interface
Signal light tower
Light curtain
X / Y Dual microscale
Energy filter
Ioniser
Edge roughness measurement
Line width roughness analysis function
Flat scan function
Maximum mag: 500K
GEM Communication interface
HSMS Communication interface
GEM 300 / HSMS / SECS
SECS Communication interface
CD Data transfer at CG5000
Measurement image upload function using FTP
FDC Function
Flexible scan function
Self alignment double pattern measurement function
Template generator function
Shield cover
EFEM Modification
VACC Modification:
Lowest: 200V
Highest: 5000V
E-Chuck stage system:
Display unit
Power supply unit:
Water circulator
With power cable
Pipe
Ion pump back-up
SE-Gun back-up
Optical Microscope: l 10x, 220x
Does not include:
Chemical filter
Pre-Dose, Optics modification HARC observation function
KRF Defect review network interface
Power supply: AC 208V, 60Hz
2015 vintage.
HITACHI CG-5000은 일본 전자 회사 인 HITACHI, Ltd.에서 개발 한 주사 전자 현미경 (SEM) 입니다. HITACHI CG5000 모델은 최고 수준의 데스크톱 SEM으로, 고급 이미징 기능과 사용 편의성으로 유명합니다. 이 기기의 기본 디자인에는 5 축 동력 무대와 가변 압력 챔버가있는 고해상도 기둥이 포함됩니다. CG 5000은 또한 진공 게이지, 전자 총 및 열성 방출 필라멘트, 고출력, 가변 무채기 목적 렌즈 및 SEM 이미징 매개변수에 대한 매우 정밀한 제어를 가능하게하는 추세 보정 구동 시스템 (Trend-Correcting Driving System) 을 갖추고 있습니다. CG-5000 의 핵심은 HITACHI T800 디지털 신호 프로세서이며, HITACHI T800 디지털 신호 프로세서는 기기에 대한 동작 제어 및 이미지 데이터 처리를 제공합니다. 고급 프로세서와 강력한 전자 건 (electron gun) 의 조합은 까다로운 샘플 재료에도 고품질의 이미징을 허용합니다. HITACHI CG 5000은 2 차 전자 (SE), 역 산란 전자 (BSE) 및 고해상도의 카토 돌루미네 센스 (CL) 와 같은 다양한 이미징 모드를 생성 할 수 있습니다. 생성 된 이미지는 2 차원 (2D) 또는 3 차원 (3D) 형식일 수 있습니다. 이 시스템은 또한 더 어려운 이미징 응용 프로그램에 대해 자동 게인 제어를 제공합니다. 현미경의 성능은 또한 자기 렌즈 (magnetic lenses) 와 전자 광학 (electron optics) 에 의해 향상되며, 이는 뛰어난 이미지 품질을 유지하면서 높은 배율을 제공합니다. 이 장치는 최대 50mm 직경의 샘플 크기를 수용 할 수 있으며, 가변 압력 챔버 (variable pressure chamber) 는 다양한 샘플에 대해 최적화 된 조건을 허용합니다. CG5000 은 이미징 기능 외에도 자동 입자 계산, 요소 매핑, EDS 스펙트럼 계산 등의 고급 분석 툴을 제공합니다. 이렇게 하면 샘플 분석에서 유용한 데이터를 생성하는 데 필요한 시간이 크게 단축됩니다. 전반적으로 HITACHI CG-5000은 강력하고 다목적 스캐닝 전자 현미경입니다. 고급 하드웨어와 소프트웨어, 사용 편의성, 고해상도 (High Resolution) 의 조합으로 다양한 유형의 분석에 탁월한 선택이 가능합니다.
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