판매용 중고 HITACHI CG-5000 #9350302
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판매
ID: 9350302
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
(3) Ports
Mini-environment transfer system
Type C to C auto-loader
With load lock system
E-Chuck stage system
Display unit
Water circulator with power cable and pipe
XL 10 Optical microscope: 220x
Main power cable (PS): l5 m
Electrified sample correction (SPM)
Auto calibration system using stub pattern
Multi-Point, gap, corner, radius measurement function
Image filing function
Recipe queue
Shield cover for CG5000
Power supply unit:
Ion pump back-up power supply unit
SE-Gun back-up power supply unit
Hardware:
(3) TDK FOUP Openers
RFID Included
BOC EDWARDS iGX100 Dry pump interface
HYNIX Spec signal light tower
Light curtain
X, Y Dual micro-scale
Energy filter
Ionizer
Not included:
HARC Observation function
Pre-dose optics modification
KRF Defect review network 1/F
Power supply: AC 208 V, 60 Hz
2014 vintage.
HITACHI CG-5000은 여러 규모의 소재에 대한 정교한 이미징 및 분석을 위해 설계된 고급 SEM (Scanning Electron Microscope) 장비입니다. 이 다목적 도구는 최신 전자 현미경 (microscopy) 기술을 결합하여 빠르고, 해상도가 높은 이미징을 달성하며, 다양한 응용 분야에 대한 강력한 분석 기기를 갖추고 있습니다. SEM 시스템은 2 차 전자 (SE), 백스캐터링 전자 (BSE) 및 전자 빔 유도 전류 (EBIC) 이미징을 사용한 전통적인 영상을 포함하여 다양한 응용 분야에 대한 다양한 이미징 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 가변 진공 (VV) 작업 및 실시간 에너지 분산 분광법 (EDS) 이 가능합니다. HITACHI CG5000은 FEG (Field Emission Gun) 와 타일링, 영역 스캔 및 3D 매핑을 위해 컴퓨터 화 된 장치를 사용하여 재료 샘플에서 정확하고 신뢰할 수있는 데이터를 얻을 수 있습니다. 운영자의 경우, CG 5000 머신은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 자동 작업 (automatic operation) 및 이미지 향상 (image enhancement) 과 같은 다양한 애플리케이션용 전용 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 또한 이 툴은 분석 전 표본을 쉽게 검사할 수 있는 그래픽 모듈 (GUI) 과 데이터 저장 (Data Storage) 및 분석 (Analysis) 기능을 제공합니다. 또한, 이 패키지에는 정확한 측정, 통계 분석 및 3D 재구성 기능을 위한 이미지 조작 자산이 포함되어 있습니다. 고성능 모델 (HPD) 은 샘플을 빠르고 균일하게 스캔할 수 있는 놀라운 Top Hat Scan 단계를 기반으로 합니다. 많은 샘플을 단일 홀더로 로드하여 로드 시간을 단축하고, 이미지 품질을 높일 수 있습니다. 또한 HITACHI CG 5000 의 규모가 작아 모든 실험실 환경에서 설치, 유지 보수가 매우 간편합니다. 고급 이미지 및 데이터 수집을 위해 CG-5000 장비에는 고급 이미지 처리 및 분석 (Advanced Imaging and Analysis) 기능을 갖춘 액세서리가 장착될 수 있습니다. 여기에는 STEM (Scanning Transmission Electron Microscope) 및 민감한 표본의 시간 경과 분석을위한 디지털 현미경 카메라가 포함됩니다. 고급 시스템은 또한 전자 홀로그래피 (electron holography) 에서 풀 필드 전자 단층 촬영 (full-field electron tomography) 에 이르기까지 다양한 다른 분석 기술을 허용합니다. 전반적으로, CG5000 SEM 장치는 다중 스케일에서 재료 샘플을 이미징 및 분석하기위한 뛰어난 도구입니다. HITACHI CG-5000 은 고급 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 자동 (automated) 기능을 통해 모든 연구소에 귀중한 자산입니다.
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