판매용 중고 FEI FIB 200 #9082663
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판매
ID: 9082663
Focused Ion Beam System
Single beam
Pre-lens ion column:
Provides image resolution of 7nm and milling current up to 11nA
Enables deflection (for scanning) before the final lens, bringing the lens closer to the sample for best spot size
50x50mm XY stage, with rotation, tilt and z-motions
Loadlock with separate pump for fast sample exchange
Turbo pump for main chamber
Real time monitor to observe milling, aka Leader oscilloscope
Keithley Pico-ammeter to measure beam current
(2) GIS types to be selected from: EE, IEE, Metal dep (Pt) or TEOS
Chamber camera and monitor
Operating system: Windows NT
Computer control with FEI software and Seiko screen printer
Manual user interface (MUI), joystick and mouse controls
Manuals
(2) gas injectors with controller: choose from iodine, XeF2, Platinum, or TEOS gases
Line transformer (main), AC distribution box and Maintenance tool kit.
FEI FIB 200은 재료 분석 및 재료 특성과 같은 응용을 위해 설계된 고급, 고해상도 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 입니다. 초점 이온 빔 (FIB) 을 사용하여 재료의 내부 구조에 대한 고도로 확대, 상세한 이미지, 원자 정밀도로 샘플을 찍을 수있는 기능을 제공합니다. 고급 전자 장치 및 광학 시스템을 갖춘 FIB 200은 대부분의 SEM보다 높은 해상도와 빠른 스캐닝을 제공합니다. FEI FIB 200은 필드 방출 소스를 사용하여 매우 높은 전류에서 전자를 제공합니다. 이러 한 전자 는 일련 의 전자기 "렌즈 '에 의하여 초점 을 맞춘 다음, 표본 에" 양극' 에 의하여 가속 된다. 전자가 샘플 물질과 상호 작용하면, 이들은 SEM 시스템에 의해 감지 된 후 이미지로 처리되는 별개의 신호를 발생시킨다. FIB 200에는 작은 기능의 더 높은 해상도 이미지를 달성 할 수있는 구형 수차 교정기 (spherical aberration corrector) 가 있습니다. 이 시스템에 통합 된 집중된 이온 빔은 샘플 준비의 중요한 측면입니다. FIB를 통해 사용자는 샘플 재료 영역을 가져다가 얇은 레이어 (thin layer) 로 절단하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 이 절단 과정 은 엄청나게 정확 하여, 원자 정밀도 로 "샘플 '을 준비 할 수 있다. 또한 표면 원자 (surface atoms) 를 제거하고 표본 (probe) 과 기판 (substrates) 을 샘플로 배치 할 수 있습니다. FEI FIB 200은 또한 사용자가 재료를 더 정확하게 분석 할 수있는 이미지 분석 및 측정 도구 (Suite of image analysis and measurement tools) 를 제공합니다. 여기에는 다차원 색상 매핑 및 자동 피쳐 템플릿과 같은 도구가 포함됩니다. 추가 분석을 위해 데이터를 내보내거나, 나중에 참조할 수 있도록 저장할 수 있습니다. 전반적으로 FIB 200은 나노 스케일 재료에 대한 귀중한 정보를 제공하는 도구가 장착 된 고급 SEM (Advanced SEM) 입니다. 통합 FIB (Integrated FIB) 와 결합된 탁월한 정밀도 및 해상도는 재료 분석 및 특성화에 이상적인 도구입니다.
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