판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i+ #9210704

AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i+
ID: 9210704
Critical dimension scanning electron microscope (CD-SEM).
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i + 는 나노 미터 수준에서 고해상도 이미징을 제공하는 스캔 전자 현미경 (SEM) 입니다. 이 장치는 고진공 환경을 사용하며 이미징에 최대 10,000 배의 정확도를 제공합니다. 장비는 또한 매우 높은 속도로 이온을 가속화 할 수 있습니다. 인사이트 (in-situ) 및 전 사이트 (ex-situ) 특성화 및 이미징을 모두 제공하기 때문에 연구 개발에 이상적입니다. AMAT VeritySEM 4i + 는 가변 압력 분석을 위해 가변 압력 SEM 콘덴서를 사용합니다. 이것은 이미징되는 샘플의 물리적 크기를 수정하는 데 사용됩니다. 이 과정을 통해 불순물 유도 및 미묘한 기하학적 특징을 모두 분석 할 수 있습니다. 또한 SEM 콘덴서는 저소음 냉각 시스템을 통합하여 열 드리프트 (drift) 를 제거하고 더 정확한 측정을 허용합니다. 4i + 에는 고유한 6 축 이중 미러 컨트롤러가 있으며, 이 컨트롤러는 무결성을 손상시키지 않고 샘플을 이동할 수 있습니다. 이렇게 하면 샘플 크기가 커지고, 보다 복잡한 피쳐를 이미징할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 이온 빔 (ion beam) 을 자동으로 정확하게 제어할 수 있으므로 수동으로 조정할 필요가 없습니다. APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i + 에는 통합 전자 빔 리소그래피 (EBL) 장치가 포함되어 있습니다. EBL 머신은 나노 미터 (nanometer) 수준에서 샘플을 패턴화하는 데 사용하여보다 자세한 분석을 위해 사용됩니다. 고해상도 탐지기 (detector) 가 장착되어 지형과 화학적 이미지를 모두 만들 수 있다. 또한 EBL 도구는 고정밀 리소그래피를위한 가변 스팟 빔 제어 자산을 통합합니다. VeritySEM 4i + 에는 고해상도 CCD (charge-coupled detector) 가 있으며, 이는 이미지를 원자 수준에서 기록하는 데 사용할 수 있습니다. CCD는 반자동 이미지 처리 소프트웨어 패키지와 함께 사용됩니다. 사용자가 이미지를 조작하여 더 잘 표시할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i + 는 고효율의 저해상도 전자 광학 모델을 통합합니다. 이 장비는 샘플의 고해상도 이미지를 빠르게 생성 할 수 있습니다. 고해상도 전자 광학 시스템은 전자빔의 초점을 조정하여 더 나은 해상도를 제공하는 정교한 자동 초점 장치 (auto-focusing unit) 를 통합합니다. AMAT VeritySEM 4i + 는 연구 개발을위한 훌륭한 주사 전자 현미경입니다. 인상적인 해상도, 현장 및 전 사이트 특성 및 가변 압력 분석을위한 가변 압력 SEM 응축기를 제공합니다. 또한 인상적인 6 축 듀얼 미러 컨트롤러와 통합 전자 빔 리소그래피 머신 (electron-beam lithography machine) 을 사용하여 정확한 이미징을 보장합니다. 마지막으로, 자세한 분석을 위해 고해상도 충전 결합 검출기와 반자동 이미지 처리 소프트웨어가 포함되어 있습니다.
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