판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS OPAL 7830I #9226431
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ID: 9226431
Scanning Electron Microscope (SEM), parts system
Needs detector and tip
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS OPAL 7830I는 반도체 산업의 정밀 영상 및 분석을 위해 설계된 고급 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 입니다. 이 장비는 전통적인 스캐닝 기술을 크게 능가하는 상세 관찰에 대한 하위 나노 미터 해상도 (< 4nm 좁은 크기) 와 향상된 감도를 제공합니다. 이 시스템에는 내장 중심 이온 빔 (FIB) 및 전자 빔 리소그래피 (EBL) 기능이 포함 된 분석 기능이 있습니다. 조밀 한 샘플에 묻힌 물체에 대한 나노 스케일 샘플 준비 및 시각적 분석을 제공합니다. 이 장치에는 고정밀 3 축 기계식 스테이지, 대형 동적 범위 디지털 검출기, 최첨단 전자 광학 시스템 등 다양한 기능이 있습니다. 이 최첨단 머신은 빔 에너지 (beam energy) 와 스팟 크기 (spot size) 를 세밀하게 튜닝하여 고객의 특정 이미징 요구를 충족시킵니다. AMAT OPAL 7830I에는 에너지 해상도 및 스팟 크기가 개선 된 안정적인 전자 빔을 제공하는 고해상도 FEG (field emission gun) 가 있습니다. 이미징에 적합한 에너지를 선택하는 데 도움이 되는 내장형 (in-built) 에너지 필터 제어가 있습니다. 전자 광학 시스템은 미세 튜닝을 위해 조정 가능한 난시와 구형 수차를 가지고 있습니다. 전자 광 도구 (optical tool) 는 이미지 품질을 최대화하기 위해 큰 접안렌즈와 조절 가능한 대비 제어를 가지고 있습니다. 자산에는 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어 구성 요소가 통합되어 있으며, 모두 안정성과 성능 최적화가 가능합니다. 이 모델에는 빠른 고정밀 샘플 스테이지와 디지털 CCD 카메라가 있어 나노 미터 (sub-nanometer) 수준에서 정확한 관찰이 가능합니다. 또한, FIB에는 현장 증착 및 에칭을 허용하도록 특별히 설계된 파동 발전기가 있습니다. 넓은 동적 범위 CCD 검출기 설정은 탁월한 감도와 명암비를 제공합니다. 이러한 방식으로 이미징은 이전 이미징 시스템에 비해 개선됩니다. APPLIED MATERIALS 7830I는 CAD 시스템 및 자동 로봇 샘플 처리와 쉽게 결합할 수 있으므로 처리량이 높고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 장비에는 설정 시간을 줄이고 정확도를 향상시키는 자동 기능이 있습니다. On board scripting technology (온보드 스크립팅 기술) 를 통해 고객은 테스트를 사용자 정의하고 작업 프로세스의 속도를 높일 수 있습니다. 마지막으로 소프트웨어는 EBSD (electron backscatter diffraction) 및 EDS (energy dispersive x-ray) 와 같은 다른 이미징 응용 프로그램과의 통합을 허용합니다. 이러한 기능을 통해 APPLIED MATERIALS OPAL 7830I는 고해상도 이미징 기능을 제공할 수 있으며, 반도체 업계에서 요구하는 안정성과 고정밀도를 유지할 수 있습니다. 오늘날 시장에서 가장 발전된 스캐닝 전자 현미경 (scanning electron microscope) 으로, 가장 까다로운 산업 프로젝트에 대한 뛰어난 이미징 및 분석을 제공합니다.
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