판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 8100 #9187693
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판매
ID: 9187693
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 1986
Microscan system, 4"-6"
2 in / 4 out
Alignment station
Flatness station
High res station
ASC Controller
Accessories included
Sender elevators:
One/two senders
Deliver wafers from cassettes to the main transport belt
Prealigner:
Centers wafers on vacuum chuck
Aligns them with reference to primary flat/notch
Determines locations of up to four secondary flats
Flatness station:
Measures operator-specified portion of wafer surface
Calculates minimum, maximum, centerpoint, and average thickness
(MINTHK, MAXTHK, CTRTHK, AVETHK)
Thickness variation (TTV)
Focal plane deviation (FPD)
Total Indicator reading (TIR)
Total Indicator reading at localized areas (SITE TIR)
Percent usable area based on thickness
(THICK PUA), FPD (FPD PUA) and SITE TIR (SITE TIR PUA) sem I conductor type
Resistivity station:
Measures resistivity at one user-programmed point on the wafer surface
Receiver elevators:
One - four receivers
Transport wafers
Main transport belts to cassettes
1986 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 8100은 다양한 과학 및 산업 응용 분야에서 사용자에게 상당한 이미징 이점을 제공하도록 설계된 고급 SSEM (Solid-State Scanning Electron Microscope) 입니다. ADE 8100은 초점 전자 빔 프로브를 사용하여 최소 샘플 드리프트 및 왜곡으로 여러 이미지를 획득하여 최소 아티팩트 (artifact) 로 정확한 이미징을 가능하게 하는 멀티 패턴 생성기 (multi-pattern generator) 를 포함한 독특한 기술을 제공합니다. KLA 8100은 내장형 제어 시스템에 의해 구동되며, 내장형 디지털 신호 프로세서와 앰프 (amplifier) 가 장착 된 고정밀 스캔 현미경으로 구성됩니다. 이 시스템은 탁월한 이미징 정확성과 스캐닝 처리량을 제공합니다. 또한, 정밀 동작 단계 및 액추에이터를 사용하면 TENCOR 8100이 스캐닝 작업에 높은 해상도를 얻을 수 있습니다. 이미징 품질을 향상시키기 위해 8100에는 지터 (jitter) 와 노이즈 (noise) 를 줄일 수 있는 고주파 입력 (high frequency input) 과 견본 정확도를 높일 수 있는 종합적인 자동 정렬 기능이 장착되어 있습니다. 동작 제어의 경우, ADE/KLA/TENCOR 8100은 부드럽고 정확한 스캔을 위해 고급 고속 스캐닝 모터와 전방향 컨트롤을 갖추고 있습니다. 이미징 소프트웨어는 모든 배율에서 높은 표준 이미징 품질을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, ADE 8100은 자동화 된 샘플 특성화 제품군을 특징으로하여 연구원들이 물리적, 전기 및 기타 재료 특성을 쉽게 측정 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 연구원은 원격으로 작업하고 인터넷 브라우저를 통해 샘플 데이터를 볼 수 있습니다. KLA 8100은 또한 3D 이미지 재구성 및 탐지성 분석과 같은 기능으로 종합적인 분석 기회를 자랑합니다. 요약하자면, TENCOR 8100은 엄격한 데이터 분석 및 이미징을 처리하도록 설계된 강력한 SSEM입니다. 통합 제어 시스템, 모션 스테이지, 이미징 소프트웨어, 자동 특성 제품군은 다양한 산업/과학 분야에 적합합니다.
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