판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 8100 #9105631
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ID: 9105631
Microscan
Includes:
Flatness, bow/warp station
Hi-accuracy Hi res station
Full cassette configuration of (2) input and (4) output cassettes.
ADE/KLA/TENCOR 8100은 다양한 이미징, 분석 및 측정 기능과 저진공, 비용 효율적인 설계를 결합한 스캔 전자 현미경 (SEM) 입니다. SEM 의 장점은 샘플에 대한 더 깊은 관통, 표면의 텍스처 및 균일성 (texture and unifority) 을 보는 기능, 넓은 시야로 고해상도 (high resolution) 이미지를 얻을 수 있는 기능 등입니다. 넓은 심도와 짧은 펄스 지속 시간 (pulse duration) 으로 ADE 8100은 높은 배율에서도 고품질 이미지를 생성합니다. KLA 8100에는 에너지 분산 분광법 (EDS) 검출기가 장착되어 있습니다. 이 검출기는 샘플 내에서 발견된 요소를 식별하고 정량화하는 데 사용됩니다. EDS 장비는 X- 선 방출을 사용하여 샘플 구성을 분석하고 하위 얼굴 조사를 할 수 있습니다. 또한, TENCOR 8100은 2 차 전자 검출기 (SE) 를 사용하는데, 이는 1 차 빔에 반응하여 전자를 방출하여 표본 표면의 더 높은 해상도 이미지를 생성하는 이미징 검출기 인 SE (Secondary Electron Detector) 입니다. 8100은 견본 포지셔닝 및 준비를 위한 모터화 단계 (motorized stage for sample positioning and preparation), 인체 공학 제어판 (ergonomic control panel), 다양한 사용자 친화적 기능을 포함하여 최적의 사용자 편의를 위해 설계되었습니다. 다양한 가변 매개변수 (variable parameter) 와 자동화된 함수 (automated function) 를 통해 운영 용이성을 높여 생산성을 높이고 설정에 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 현장 이미징 및 나노 스케일 측정은 ADE/KLA/TENCOR 8100의 자동 정밀 지깅 시스템 (automated precision jigging system) 에 의해 가능하며, 이미징 프로세스 동안 매우 미세한 이동과 위치를 설정할 수 있습니다. ADE 8100 에서 생산되는 고해상도 샘플 이미징 (고해상도 샘플 이미징) 은 미세한 세부 사항을 관찰하고 정밀도로 이미지화할 수 있게 해 주며, 이는 고장 분석 (failure analysis), 리버스 엔지니어링 (reverse engineering), 품질 제어 (quality control) 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. KLA 8100의 고급 광학은 재료 연구, 금속학 및 반도체 산업 응용 분야에도 적합합니다. 마지막으로, TENCOR 8100에는 디지털 이미징 장치가 장착되어 있어 이미지 선명도와 정확도가 향상되었습니다. 디지털 이미징 머신 (Digital Imaging Machine) 은 또한 여러 탐지기 (Detector) 의 이미지를 통합하여 연구원들이 이미지화하는 표본을 더 잘 이해할 수 있도록 해줍니다. 최첨단 디자인과 8100 기능은 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 및 샘플 분석을 위한 이상적인 도구입니다.
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