판매용 중고 STANFORD RESEARCH SYSTEMS / SRS RGA200 #293762012

스탠포드 리서치 시스템 (STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA 200) 은 동봉 된 진공실에 대한 관심 분자의 부분 압력을 측정하도록 설계된 잔류 가스 분석기입니다. 이 기구는 오염 가스를 식별, 정량 및 제어하는 데 사용되며, 이는 전자 현미경, 반도체 직물, 스퍼터 도구, 높은 진공 시스템 및 기타 분석 도구를 포함한 다양한 진공 시스템의 성능에 영향을 줄 수 있습니다. SRS RGA 200은 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 질량 분석기 소스, 진공 챔버 및 일련의 전자 컨트롤. 질량 분석기 (Mass Spectrometer) 소스는 샘플을 통과하는 이온 빔을 생성하는 데 사용됩니다. 들어오는 이온은 질량 필터 (mass filter) 에 의해 분석되며, 이는 이온을 질량 대 전하 비율로 분리하여 가스 샘플 내에서 종의 식별 및 정량화를 가능하게한다. 일단 "이온 '을 분석 하면, 출력 이 검출 되어" 질량 스펙트럼' 의 형태 로 표시 장치 에 표시 된다. 이 스펙트럼은 샘플에서 특정 종을 식별하고 개별 컴포넌트의 상대 부분 압력 (relative partial pressure) 을 정량화하는 데 사용될 수있다. 진공실은 본질적으로 진공 입력, 펌핑 시스템, 격리 밸브가있는 동봉 된 시스템입니다. 표본 을 분석 하기 위해, "챔버 '를 먼저 원하는 진공 수준 으로" 펌프' 를 한 다음, 격리 "밸브 '를 열어 표본 종 을" 챔버' 로 끌어들일 수 있게 한다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 내부에서, 샘플은 고 에너지 전자로 폭격되어 샘플 종이 이온화되고, 그 후 분석 될 것이다. 마지막으로 STANFORD RESEARCH SYSTEMS RGA 200에는 컨트롤러 보드, 센서 모듈, 전원 공급 장치 등 일련의 네트워킹 및 제어 하드웨어도 포함됩니다. 이 성분 들 은 주 로 약실 내부 의 진공 압력 과 전자 "빔 '의" 파라미터' 를 조절 하는 데 사용 된다. 또한 네트워크 접속을 통해 기기의 원격 제어 (remote control) 와 같은 다양한 기능을 통합할 수 있습니다. 전반적으로, RGA 200은 진공실에서 다양한 종의 부분 압력을 분석하고 정량화하는 필수 불가결한 도구입니다. 이 기구 는 정확 한 "데이터 '를 제공 할 수 있으며, 손쉽게 이동 할 수 있어, 여러 가지" 응용프로그램' 에 이상적 인 해결책 이 된다.