판매용 중고 WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999 #293831160
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ID: 293831160
CVD System, 6"
Type: APCVD (USG / PSG / BPSG)
Ozone generation: SUMITOMO with (4) Cells
(3) Injectors: IVA's with Monoblock
(3) Canisters: TEOS, TMB, TMP
CSR
(9) Bubblers
Belt cleaning: HF Bubbler
Temperature: 500°C
Cooling system: Water
Throttle valve: MKS with controller
Toroidal orifices: 6 x 3" with spring
Belt: Inconel
(25) Slot case
(4) Cassette
Wafer detecting
Controller: Pentium (2) PC
Gas controller: 3.89
Temp controller: 2.57
Handler: 4.47
PLC: 1.36
Gas configuration:
- / Injector#1 / Injector#2 / Injector#3
O2/O3 / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM
D1N2 / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM
SPN2 / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM
D2N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
SIH4 / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM
PH3 / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM
B2H6 / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM
DILL N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
TEOS / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 1.5 SLM
TMP / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 150 SCCM
TMB / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 50 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase.
WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999는 상업용 응용을 위해 설계된 고온 비활성 가스 냉각 원자로의 한 유형입니다. 스텐레스 스틸 (stainless steel) 과 카본 스틸 (carbon steel) 로 만든 압력 용기를 갖춘 고체 연료 원자로이며 토륨 연료를 사용하도록 설계되었습니다. 토륨은 원자로에서 연료로 사용될 수있는 약간 방사성 원소입니다. 기존 우라늄 기반 연료보다 풍부하고, 비용이 저렴하며, 장기 방사성 부산물이 적다는 장점이 있습니다. "토륨 '은" 우라늄' 보다 "에너지 '함량 이 높으며, 기존 연료 보다 단위 질량 당" 에너지' 를 더 많이 생산 한다. WATKINS JOHNSON WJ TEOS 999 원자로는 고온 흑연 조정 열 중성자 원자로입니다. 이러 한 형태 의 원자로 에서, 흑연 감속재 는 연료 를 둘러싸고 있으며, 연료 에서 방출되는 열 중성자 의 수 를 증가 시킨다. 이것은 원자로의 에너지를 생성하는 분열 반응 가능성을 증가시킵니다. 원자로는 섭씨 900도 이상에서 작동하며 헬륨 가스로 냉각됩니다. 원자로는 안전한 작동을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능을 통합합니다. 여기에는 이중 격납관, 중성자 흡수 장치 및 물 덤프봉이 포함됩니다. 이중 억제 용기는 환경에 방사능을 방출하는 것을 불가능하게합니다. 중성자 흡수 장치 (Neutron Absorbers) 와 물 덤프로드 (Water Dump Rod) 는 문제가 발생할 경우 분열 반응 및 응급 종료를 제어할 수 있습니다. WJ-TEOS 999는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 원자로로, 여러 발전소에서 사용되었습니다. 원자로는 IAEA (International Atomic Energy Agency) 에 의해 안전 인증을 받았습니다. 앞으로 원자력산업의 중요한 부분을 차지할 것으로 예상된다. & # 160; & # 160;
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