판매용 중고 WATKINS-JOHNSON WJ-TEOS 958 #293775281

WATKINS-JOHNSON WJ-TEOS 958은 Tetraethylorthosilicate (TEOS) 를 전구체 가스로 사용하는 이산화규소 필름의 증착을 위해 설계된 고급적이고 다용도 열 원자로 장비입니다. 이 최첨단 도구는 반도체 제조에서 박막 증착 공정의 필수 부분으로, 필름 두께, 균일성, 품질을 정확하게 제어합니다. WJ-TEOS 958 원자로의 중심에는 고온 공정 챔버 (high-temperature process chamber) 가 있으며, 이는 TEOS 증착과 관련된 화학 반응을위한 통제 된 환경을 제공합니다. 챔버는 일반적으로 높은 순도 석영 (high-purity quartz) 또는 TEOS 분해 및 필름 성장에 필요한 높은 온도를 견딜 수있는 다른 적절한 재료로 만들어집니다. 원자로에는 증착 과정에서 TEOS 및 기타 필요한 가스 (예: 산소, 캐리어 가스) 의 유량을 정확하게 제어하는 정교한 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 장착되어 있습니다. 이것은 챔버 (chamber) 에서 기체의 최적의 혼합 및 분배를 보장하며, 기판 표면을 가로 질러 균일 한 필름 강착을 초래한다. WATKINS-JOHNSON WJ-TEOS 958 원자로의 주요 특징 중 하나는 고급 온도 제어 장치 (advanced temperature control unit) 로, 챔버 내에서 공정 온도를 정확하게 조절 할 수 있습니다. 이것은 TEOS 분해 속도와 이산화규소 필름의 성장 운동학을 제어하는 데 중요하며, 궁극적으로 필름의 두께와 특성에 영향을 미칩니다. 원자로에는 증착 과정 전반에 걸쳐 챔버 내부의 원하는 압력을 유지하기 위해 고성능 펌프 머신 (pump machine) 도 포함되어 있습니다. 이를 통해 TEOS 가스 위상 반응에 이상적인 조건을 만들어 효율적인 필름 성장을 보장하고 원치 않는 부산물 또는 오염 물질을 최소화합니다. 또한, WJ-TEOS 958 원자로에는 TEOS 전구체 가스 활성화 및 필름 품질 향상을위한 고급 RF 플라즈마 소스 또는 기타 에너지원이 장착되어 있습니다. 혈장은 TEOS 분자를 반응성 종으로 분해하여, 기질에 밀도 및 등각 이산화규소 필름의 형성을 촉진시킬 수있다. 원자로는 안전성 (Safety Features) 과 제어 메커니즘으로 설계되어 안정적이고 반복 가능한 작동을 보장합니다. 여기에는 Interlock, 압력 센서, 온도 모니터링, 프로세스 편차를 방지하고 TEOS 증착과 관련된 잠재적 위험을 완화하기위한 기타 보호 장치가 포함됩니다. 전반적으로 WATKINS-JOHNSON WJ-TEOS 958 원자로는 반도체 제조 공정에 고품질 이산화실리콘 필름을 증착하기위한 최첨단 도구입니다. 첨단 설계, 정밀 제어 기능, 안전 기능으로 현대 집적 회로 제작 (integrated circuit fabrication) 의 엄격한 요구 사항을 달성하는 데 필수적인 요소입니다.