판매용 중고 VLSI STANDARDS INC PDS-100 #9199485

ID: 9199485
Particle deposition system.
VLSI 표준 INC. VLSI STANDARDS INC PDS-100은 반도체 산업에서 사용할 소형 경량 원자로입니다. 초순수 반도체 등급 화학 물질의 생산을 위해 설계된 CSTR (continuous flow, continuous stirring tank reactor) 입니다. PDS-100의 작동 온도 범위는 -40 ° C에서 340 ° C입니다. 다양한 화학 공정에 적합합니다. 정확한 동작 제어 및 동시 작동을 위해 3 축 6 축 동작 컨트롤러로 설계되었습니다. 또한 10 리터 반응 용기와 4 리터 양극 탱크가 장착되어 있습니다. 최대 반응 압력은 700kPa이며 최소 10kPa입니다. VLSI STANDARDS INC PDS-100은 정확한 온도 조절 및 정확한 가열을 위해 직접 침수 가열 장비를 사용합니다. 이 시스템은 PID 컨트롤러로 제어되며 전원 밸브를 통해 제어됩니다. 양성 반응 압력에 필요한 토크를 제공하기 위해 VFD (variable frequency drive) 가 사용됩니다. PDS-100은 원자로 전체에 균일 한 온도 프로파일을 생성하며, 민감한 프로세스에 적합합니다. VLSI STANDARDS INC PDS-100에는 통합 제거 장치가 있습니다. 이 기계는 산화 (oxygen-free) 환경을 만드는 데 사용되며, 산화 방지 및 기타 원치 않는 반응을 방지하여 원자로 (reactor) 가 매우 민감한 프로세스에 적합합니다. 제거 도구는 PID 컨트롤러에 의해 제어되며 산소 생성 밸브를 통해 조절됩니다. 이 자산은 10 분 이내에 모든 가스 불순물의 반응 용기를 제거하는 데 사용될 수 있습니다. PDS-100은 또한 강력한 건축 재료를 갖추고 있으며, 부식적이고 위험한 응용 분야에 적합합니다. 원자로 구성 요소는 부식 내성 강철 및 세라믹 재료로 구성됩니다. 이 재료는 극한의 온도와 압력에 대한 뛰어난 내성을 제공합니다. VLSI STANDARDS INC PDS-100은 반도체 산업에서 사용하도록 설계되었으며, 모든 반도체 제조 안전 요구 사항을 충족합니다. 원자로에는 작동 안전을 보장하기 위해 2 개의 비상 정지 스위치가 장착되어 있습니다. 전체 "모델 '은 원격으로 운용 되도록 설계 되어 있으며, 운영 중 에 실험실 직원 들 이 참석 할 필요 가 없게 하였다. 또한, 원자로는 ISO 9000 호환 품질 보증 표준에 따라 테스트되었습니다. 전반적으로 VLSI STANDARDS INC. PDS-100 원자로는 초순수 반도체 등급 화학 물질의 생산을위한 고급, 다용도, 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 정밀한 온도 및 압력 제어, 민감한 공정을위한 산소가없는 제거 장비, 위험한 응용을위한 강력한 건축 자재를 제공합니다.
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