판매용 중고 VEECO TurboDisc E475 LDM #9401869
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ID: 9401869
빈티지: 2010
MOCVD System
High-brightness LEDs: Red, orange and yellow
Multi-junction III-V concentrator solar cells
Operation: 200 300 Epitaxy
Control PC
Electrical and control part
Gas panel part
Reactor part
EBARA ESA70WD
Dry pump
Includes:
As/P Growth chamber
Growth chamber exhaust system
Load lock and platter transfer
Load lock exhaust system
Glove box
Water cooling assembly
Dual Phosphorous trap assembly
Hydrogen detector
System electronics and control modules 380 V
EpiView Local control interface
(7) Liquid refrigerator baths
(9) SS Bubbler legs, 1/8"
Gas panel
In-Situ monitoring system:
(3) REALTEMP 200 Monitoring systems
IDRT/RT Local control assembly
Step up platform
Custom gas panel controller bubbler:
DETe
DMZn
(2) TMIn
(2) TMGa
TMAI
CBr4
TBA
Disilane
Dilution network source manifold (Single bubbler)
Hydride:
Dopant1: Dislane
Dual input Hydride with single standard and single dilution network manifold
Dopant2: Dopant single input Hydride
2010 vintage.
VEECO TurboDisc E475 LDM (Low-Density Metallization) 원자로는 두꺼운 필름, 고성능 전자 장치를 생산하기 위해 설계된 도구입니다. 저압, 혈장 활성화 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 사용하여 금속 필름을 기판에 증착시키는 데 사용됩니다. 장비는 독특한 핫 회전 (hot, rotating) 디스크를 사용하여 넓은 지역에 균일 한 필름 증착을 만듭니다. 원자로는 높은 처리량 (throughput) 과 신뢰성을 염두에 두고 특별히 설계되었으며, 반도체 소자의 대량 생산에 이상적인 선택이었다. 이 시스템은 프로세스 챔버, 상위 및 하위 디스크 플래튼 어셈블리, 베이스프레임, 정렬 및 제어 시스템으로 구성됩니다. E475 원자로 공정 챔버 (reactor process chamber) 에는 짧은 가스 라인 구성으로 빠르고 정확한 가스 전달 및 빠른 시동이 가능합니다. 챔버에는 웨이퍼 수송 및 지원, 가스 유통 매니 폴드가 장착되어 있습니다. 디스크는 고성능 알루미늄 합금으로 구성되며, 뛰어난 열 및 기계적 안정성을 제공합니다. 디스크는 최대 3500 rpm에서 회전 할 수 있으며 최대 온도는 약 400 ° C입니다. 이 장치는 구리 및 알루미늄 금속화, 장벽 층, 접착층 등 금속 필름의 증착을 위해 설계되었습니다. 뛰어난 균일성과 높은 증착율로 고성능 영화를 기탁 할 수 있습니다. 기계 는 "필름 '두께 와 접착력 을 정밀 히 제어 하여 높은 정도 의 공정 과 물질적 일관성 을 제공 한다. 또한 E475 에는 공정 모니터링 (process monitoring) 및 제어 시스템 (control system) 이 포함되어 있어 배치 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 직관적인 그래픽 연산자 인터페이스 (Graphical Operator Interface) 를 사용하여 프로세스 설정, 시작 및 모니터링을 단순화합니다. 이 툴에는 보안 로그인 (Secure Login) 과 감사 추적 (Audit Trail) 이 포함되어 있어 프로세스 데이터와 결과를 쉽게 추적할 수 있습니다. 원자로 는 또한 엄격 한 안전 요건 을 충족 시키고, 사고 의 위험성 을 감소 시키고, 직장 에서 안전 을 향상 시키도록 설계 되었다. 그렇다. E475 LDM 원자로는 고성능, 신뢰성 있는 전자 장치 제조에 이상적인 도구입니다. 고급 설계 (Advanced Design) 와 안정적인 성능을 갖춘 이 제품은 전체 유지 보수 요구 사항이 낮도록 설계되어 소규모 생산 (Small-Scale Production) 및 대규모 대량생산을 모두 지원하는 효과적인 툴입니다.
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