판매용 중고 VEECO Propel #293822786

VEECO Propel
제조사
VEECO
모델
Propel
ID: 293822786
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2020
Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) system, 12", GaN Equipment Front End Module (EFEM) 2020 vintage.
VEECO Propel은 고급 박막 공정 장비 제공 업체 인 VEECO Instruments Inc.에서 개발 한 최첨단 화학 증기 증착 (CVD) 원자로 장비입니다. 프로펠 (Propel) 원자로는 전력 장치, 고광도 LED 및 RF 장치의 제조에 사용되는 고품질 질화 갈륨 (GaN) 및 기타 고급 반도체 재료의 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. VEECO 프로펠 (Propel) 원자로의 핵심에는 고급 열 처리 기술이 있으며, 이는 반도체 재료의 성장 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 뛰어난 균일성과 순도로 얇은 필름의 증착을 용이하게하는 고온, 고압 환경을 특징으로합니다. 이 제어 수준은 고급 반도체 (advanced semiconductor) 디바이스에 필요한 용도의 재료 특성 (material properties) 과 성능 특성 (performance characteric) 을 달성하는 데 매우 중요합니다. 프로펠 (Propel) 원자로의 주요 혁신 중 하나는 독점 가스 전달 및 배기 시스템 (exhaust system) 으로, 반응 챔버에 프로세스 가스를 정확하고 효율적으로 전달합니다. 이 단위는 가스 유량 (gas flow rate), 온도 (temperature), 압력 (pressure) 과 같은 성장 매개변수를 최적화하여 일관되고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 또한 실시간 가스 분석 및 온도 프로파일 링 (Temperature Profiling) 을 포함한 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 갖추고 있어 증착 과정의 제어 및 안정성을 더욱 향상시킵니다. VEECO 프로펠 (VEECO Propel) 원자로는 대용량 증착 영역 및 다용도 기판 처리 기능을 갖춘 고출력 생산을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 다양한 기판 크기와 모양을 수용 할 수 있으며, 소규모 연구 샘플과 대규모 생산 웨이퍼 (production wafer) 에서 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 또한 특정 프로세스 요구사항과 생산량 (Production Volume) 을 충족할 수 있는 손쉬운 사용자 정의 및 확장성을 제공하는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 프로펠로 (Propel Reactor) 는 첨단 기술 기능 외에도, 운영 효율성과 사용 편의성을 향상시키는 사용자 친화적 기능으로 설계되었습니다. 이 툴에는 직관적인 프로세스 제어 및 모니터링을 위한 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화하는 자동화된 유지 관리 및 클리닝 루틴 (cleaning routine) 이 장착되어 있습니다. 원자로에는 안전 기능 (Safety Features) 과 내장 진단 (Bist-In Diagnostics) 이 포함되어 있어 생산 환경에서 안정적이고 안전한 작동을 보장합니다. 전반적으로 VEECO 프로펠 (VEECO Propel) 원자로는 생산 환경에서 고품질 반도체 재료를 증착하기위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 첨단 열 처리 (thermal processing) 기술, 정밀한 가스 전달 자산, 사용자 친화적 인 설계를 통해 뛰어난 성능과 신뢰성을 갖춘 고급 반도체 (semiconductor) 장치를 개발, 생산하려는 제조업체와 연구원에게 이상적인 선택입니다. 프로펠로 (Propel Reactor) 의 기능을 활용하면 차세대 반도체기술의 개발· 상용화를 가속화해 광범위한 업계에서 혁신을 이끌어낼 수 있다.
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