판매용 중고 VEECO MaxBright #293650486
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VEECO MaxBright는 VEECO Instruments Inc.에서 제조 한 일련의 플라즈마 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로의 최신 제품입니다. MaxBright Reactor는 광범위한 어플리케이션에서 사용할 수 있는 보다 균일하고, 품질이 높으며, 비용 효율적인 박막 코팅을 생산하도록 설계되었습니다. VEECO MaxBright Reactor는 RF 플라즈마 발전기를 사용하여 코팅 응용 프로그램을위한 최적의 환경을 만듭니다. 음성과 양성 이온을 결합한 혁신적인 양방향 설계 (bi-directional design) 를 활용하여 사용 가능한 최고 수준의 플라즈마 밀도와 균일성을 생성합니다. 원자로의 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 은 1 차 가스와 2 차 가스를 정확하게 제어하여 공정의 미세 튜닝이 우수한 결과를 제공 할 수 있습니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 고급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제조되며 내화성 내부 RF 코일을 장착하여 코팅 공정의 최대 반복성과 균일성을 보장합니다. 특허를받은 여러 기능으로 매우 균일 한 커버리지와 생산 된 필름의 뛰어난 광학, 전기 및 열 특성 (optical, electrical, thermal properties) 이 가능합니다. 챔버에는 압력, 흐름, 온도 등 프로세스 매개변수의 정확한 측정을위한 온보드 질량 흐름 컨트롤러 (on board mass flow controller) 가 장착되어 있습니다. MaxBright Reactor는 자동화된 기판 처리, 온보드 프로세스 매개변수 제어 (on-board process parameter control), 기판의 여러 속성에 대한 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 과 같은 고급 기술을 통해 생산성과 성능을 극대화합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 프로세스 매개변수에 대한 정확한 제어 및 시스템의 강력한 작동을 제공하여 코팅 프로세스의 최대 균일성과 반복성을 보장합니다. 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 을 사용하면 프로세스 문제를 보다 짧은 시간 내에 해결할 수 있습니다. 요약하면, VEECO MaxBright Reactor는 균일 한 두께와 잘 제어 된 속성의 뛰어난 코팅으로 필름을 생산할 수있는 신뢰할 수있는 고성능 도구를 제공합니다. 맥스브라이트 원자로 (MaxBright Reactor) 는 혁신적인 기술과 첨단 진단 기술 덕분에 태양광 전지 (photovoltaic cell), 디스플레이 (display), 일반 박막 증착 (Thin-film Deposition) 등 다양한 업종의 응용 분야에 적합합니다.
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