판매용 중고 VEECO K475 #9364542

VEECO/DEKTAK K 475 원자로는 고급 재료 연구를위한 정밀하고 고성능 원자로입니다. 그것 은 "실리콘 '," 갈륨' 비소, GaN 및 기타 여러 재료 로부터 박막 의 전기 특성 을 신속 히 특징 짓도록 설계 되었다. 이 원자로는 매우 강력하고 사용하기 쉬운 기능을 제공하여 안정적이고 반복 가능한 결과를 허용합니다. VEECO K 475 원자로는 직류 (DC) 스퍼터링 원자로이며, 금속, 산화물, 질화물, 기타 유전체 물질을 포함한 얇은 필름의 원자 증착에 적합합니다. 순차적 증착 및 에칭을위한 독특한 DC 이중 마그네트론 소스로 성능이 향상되었습니다. 또한 민감하고 빠른 전기 측정 하위 시스템 (Electrical Measurement Subsystem) 을 갖추고 있어 매우 정확한 시트 및 접촉 저항 (Contact Resistance) 측정이 가능합니다. 또한 사용자는 표준 웨이퍼 (wafer) 에서 부분적으로 장착 된 기판 (substrate) 에 이르기까지 다양한 기판 홀더를 선택할 수 있습니다. 원자로는 최적의 정확성과 반복 성을 위해 고급, 자동 모션 제어 기능을 갖추고 있습니다. 웨이퍼를 3 m 내에 정확하게 배치 할 수 있으며 웨이퍼 표면 등각의 미세 그레인 제어를 5N/sq로 달성 할 수 있습니다. 원자로 또한 고성능 증착제어 (deposition control system) 를 갖추고 있어 증착율, 균질성, 공정 정확도를 자동으로 제어함으로써 완벽한 성능을 보장한다. 원자로의 스퍼터 듀티 사이클 (sputter duty cycle) 은 최적의 증착률과 증착율과 식각 속도 사이의 최적의 균형을 위해 조정 될 수있다. DEKTAK K475 Reactor의 주요 목적은 고급 재료 연구를위한 고순도 박막을 만드는 것입니다. 이 "에너지 '는 점점 더 효율적 이고 신뢰 할 만한 고급 재료 의 개발 을 위한 길 을 마련 해 주며, 연구자 들 과 산업 전문가 들 에게 그 들 의 재료 를 평가 할 수 있는 강력 한 도구 를 제공 해 준다. 이 원자로는 광전자 (optoelectronics), 통신 (telecommunications), 데이터 스토리지 (data storage) 애플리케이션을 위한 신기하고 정밀도가 높은 다중 계층 필름을 연구하고 제작하는 데 이상적인 플랫폼을 제공합니다.