판매용 중고 VEECO / EMCORE TurboDisc MaxBright #293667120

VEECO/EMCORE 터보 디스크 맥스브라이트 (TurboDisc MaxBright) 원자로는 단기간에 넓은 지역에 걸쳐 얇은 필름과 나노 구조를 효율적으로 증착하기 위해 설계된 강력한 반도체 처리 도구입니다. 고급 3 디스크 챔버 (Tri-Disc Chamber) 설계를 사용하여 처리량과 성능을 극대화하는 최초의 상용 고속, 와이드, 박막 증착 시스템입니다. TurboDisc는 전자 빔 (EB) 증발 기술에 의존하여 양면 3D 등각 범위의 웨이퍼 또는 기판에 재료를 증착시킵니다. EB 총은 높은 RF 주파수에서 작동하여 기판에서 원하는 대상에 도달하기 위해 다양한 오비탈로 여러 개의 전자 빔을 회전시킵니다. 결과적으로 기존 단일 소스 증착 (single-source deposition) 방식보다 빠른 증착이 가능하여 결함이 크게 줄고 기판이 손상됩니다. "챔버 '는 깨끗 하고 모듈식 으로 설계 되어 있어서 기계 를 유지 하고 재구성 하기 쉽다. 13 인치 기판 스테이지가 있으며 분당 최대 30 웨이퍼 (wafer) 의 속도로 단일 사이클로 처리하기 위해 130 개 이상의 웨이퍼 패턴을 맞출 수 있습니다. 이 시스템은 또한 광역 증착의 경우 기판 간 거리 (12.7 ") 와 공정 챔버 높이 (15.75") 를 가지며, 이로 인해 처리량 및 최대 프로세스 유연성의 광범위한 대량 생산이 가능합니다. TurboDisc에는 고해상도 모니터와 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 가 있으며, 이중 대역 및 다중 계층 증착과 같은 여러 프로세스 제어 옵션이 있습니다. 또한 여러 작업 및 레시피를 추적하기위한 고속 알고리즘 제어 및 레시피 관리 (recipe management) 가 있습니다. 또한 시스템을 원격으로 관리하고 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 터보 디스크 (TurboDisc) 는 최신 하드웨어 기술을 사용하며, 씬 필름 (Thin-film) 과 나노 구조 (Nanosstructure) 의 대용량 생산을위한 업계에서 가장 발전된 원자로입니다. 즉, 처리량을 늘리고, 자재 손실을 최소화하여 웨이퍼 (wafer) 당 최대 수익률을 달성하고, 대용량 증착 어플리케이션의 경우 최대 ROI (투자 수익) 를 보장하도록 설계되었습니다.