판매용 중고 VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9231840

VEECO TurboDisc K475i As/P 원자로는 반도체 및 옵토 전자 응용 프로그램에서 고품질의 다목적 증착 성능을 제공하는 중형 전력 장치입니다. 4 구역 석영 보트 원자로로 정교한 고속 증착을 가능하게합니다. 원자로는 광학 코팅 응용 프로그램뿐만 아니라 Si, SiC, Ge, GaAs, AlN 및 GaN과 같은 재료의 증착에 최적화되었습니다. 원자로에는 고급 액티브 소스 전원 공급 장치 (Advanced Active Source Power Supply) 가 장착되어 있어 Zone 당 소스 전력을 10 ~ 450 와트로 변경할 수 있으며, 다양한 기판에 재료를 높은 속도로 증착 할 수 있습니다. 또한, K475i As/P는 높은 반복 속도 증착을 위해 최대 100kHz 주파수의 펄스를 제공 할 수있는 펄스 전원 공급 장치를 사용합니다. 또한이 장치는 빠른 열 어닐링을 수행 할 수 있습니다. 원자로는 또한 2 개의 독립적 인 가스 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이는 공정 가스의 정확한 흐름 제어를 가능하게한다. 이를 통해 사용자는 공정 챔버 압력 (process chamber pressure) 과 퇴적된 가스의 양을 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 또한, K475i (K475i) 는 통합 활성 냉각 배열을 가지고 있으며, 이는 기판 온도를 유지하고 증착 과정의 무결성을 유지하는 데 도움이됩니다. 일체형 온도 조절은 또한 최첨단 고속 응용 프로그램 중 온도를 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 개폐식 셔터 시스템은 증착률과 각도를 동적으로 제어합니다. "가속기 '자기장 은 완전 히 조절 할 수 있으며, 특정 한" 응용프로그램' 에 최적화 된 시스템 성능 을 보장 하기 위하여 "프로그램 '할 수 있다. 또한, K475i에는 RF 전원, 공진기 전압, 주파수 및 온도를 측정하는 기능이 포함 된 종합적인 통합 진단 시스템이 있습니다. 이러한 기능을 결합하면 K475i는 강력하고 신뢰할 수있는 재료 증착 장치가 됩니다.