판매용 중고 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9358482

VEECO TurboDisc K475 As/P 플라즈마 원자로는 반도체 연구 및 생산을위한 고급 도구입니다. 시야가 아닌 조건에서 초고품질 플라즈마 프로세스를 만들도록 설계되었습니다. 이 원자로는 컴팩트한 디자인, 유연한 구성, 고품질 생산 공정을 제공합니다. 원자로에는 플라즈마 제어를 강화하기 위해 비대칭 바이어스 자기장을 갖춘 터보 디스크 (TurboDisc) 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이 고급 소스를 통해 사용자는 고급 플라즈마 제어 (Plasma Control) 뿐만 아니라 초소형 서피스를 생성할 수 있습니다. 또한 운영 수준 프로세스 조건을 위한 초고속 튜닝 기능도 제공합니다. K475 AS/P의 고급 (Advanced) 공정 챔버는 안정적인 처리 환경을 제공하도록 설계되었습니다. RF, 마그네트론, 평면 및 그리드를 포함한 다양한 범위의 전극이 장착되어 있습니다. 또한, 챔버 (chamber) 에는 다양한 처리 조건에서 다양한 기판을 처리 할 수있는 다중 영역 구성 (multi-region configuration) 이 포함되어 있습니다. K475 As/P는 또한 고급 제어 시스템을 갖추고 있으며, 정확한 설정과 계기를 제공합니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 사용하면 여러 조건과 레시피를 작성, 저장, 검색할 수 있습니다. 또한 이 시스템을 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 설정할 수 있으며, 이를 통해 고객은 프로세스 결과를 최적화할 수 있습니다. EMCORE TurboDisc K475 As/P 플라즈마 원자로는 생산 수준의 처리량과 수율을 제공합니다. 또한 SEMI S2 및 ISO 9001을 포함한 여러 건강 및 안전 표준을 준수합니다. 고급 설계, 고품질 플라즈마 처리 조건, 견고한 제어 시스템 등을 갖춘 이 플라즈마 (Plasma) 원자로는 반도체 연구 및 생산에 적합한 선택입니다.