판매용 중고 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375123

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN (Gallium Nitride) 원자로는 광범위한 고급 마이크로 일렉트로닉 재료를 처리하도록 설계된 고급 에피 택시 장비입니다. 이 원자로는 균일 한 레이어 증착 기술을 사용하여 SMART-MEMS, 전력 전자 장치, LED 및 기타 광전자 부품과 같은 매우 복잡하고 정밀한 장치를 생산합니다. VEECO TurboDisc K465i GaN은 뛰어난 구조적, 전기적 특성을 가진 광범위한 오필름 및 컴포지트의 증착을 위해 구성된 고온 에피 택시 원자로입니다. 이 시스템은 조정 가능한 온도 프로파일 (temperature profile) 을 통합하여 균일성을 최대화하고, 프로세스 모니터링 및 제어를 강화하기 위한 온도 및 압력 센서를 제공합니다. 이 장치는 정확하고, 반복 가능하며, 처리량이 높은 뛰어난 Crystal Quality 제품을 제공하여 최대 200mm/min에 이릅니다. 또한 실란, 유기 금속원, 수 소화물, 기타 질소 및 그룹 III 화합물을 포함한 광범위한 전구체로 작동 할 수 있습니다. 효율적인 작동과 정밀 제어를 위해 기계는 에치 (etch) 및 증착실 (deposition chamber) 뿐만 아니라 GaN 증착을위한 2 개의 독립적 인 RF 발전기를 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 고급 가스 전달 자산, 정밀 펌핑 기술 및 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 를 갖추고 있어 정확한 가스 전달이 가능합니다. 또한, 이 모델은 쉽게 장치 설계 및 신호 분석을 수행할 수 있도록 업계 표준 설계 도구 (design tools) 와 호환됩니다. 또한이 장비는 향상된 영화 균일성을 위해 ABP (adaptive backside pressure) 기술을 갖추고 있습니다. ABP 는 "와퍼 '처리 를 빠르고 중단 없이 처리 할 수 있게 해 주며, 또한 전구체 와" 가스' 소모 를 최소화 하여 운영 비용 을 절약 할 수 있게 해 준다. EMCORE TurboDisc K465i GaN 은 고급 안전 기능을 통합하여 효과적인 운영 및 성능을 제공하도록 설계되었습니다. '장애 안전 (fail-safe)' 방식과 '사용자 경고 (user alert)' 기능이 여러 개인 경우, 시스템이 작동 중 안전성을 보장하기 위해 항상 작동하고 있습니다. 전반적으로 TurboDisc K465i GaN 원자로는 매우 복잡하고 정밀한 마이크로 일렉트로닉 구조를 생산하는 데 가장 정밀하고 효과적으로 설계된 고급 에피 택시 유닛 (epitaxial unit) 입니다. 이 기계는 뛰어난 크리스탈 품질, 조절 가능한 온도 프로파일, 적응적인 뒷면 압력 (adaptive backside pressure) 을 통해 매우 정확하고 전문적인 구조를 만드는 데 적합합니다.