판매용 중고 VEECO / EMCORE TurboDisc E450 LDM #9119474

VEECO TurboDisc E450 LDM (Low-Density Metal) 원자로는 반도체 장치 및 구조물에 사용하기 위해 금속을 물리적으로 기화시키는 데 사용되는 상업용 도구입니다. 이 고성능 원자로는 고진공 환경에서 작동하며 가열, 증기 증착, 산화에 마이크로파 에너지를 사용합니다. 이 과정은 원자로 쿼츠 웨이퍼 서셉터 (quartz wafer susceptor) 에 필요한 금속의 '피드 스톡 (feedstock)' 을 적재함으로써 시작되며, 이는 정확하고 일관된 방식으로 매우 높은 온도를 달성 할 수 있습니다. E450 LDM 원자로는 동적 작동시 최대 5nm/s의 증착 속도를 가능하며 이러한 고온을 달성하기 위해 무선 주파수 (RF) 난방 또는 직류 (DC) 난방을 사용합니다. 또한, 터보 (TurboDisc) 설계 내의 상수 증착 매개변수를 사용하면 동일한 증착 프로세스를 반복하여 균일성 (unifority) 측면에서 동일한 구조를 만들 수 있습니다. E450 LDM 원자로 장비에 포함 된 고급 현장 청소 (in-situ cleaning) 기술은 쿼츠 웨이퍼 서셉터 (quartz wafer susceptor) 및 시스템의 다른 구성 요소를 청소하는 데 필수적인 역할을하여 모든 유형의 오염이 발생하지 않습니다. 이 현장 청소 기법 은 "염소 가스 '와 질소" 가스' 의 공급원 을 이용 하여 고품질 물질 을 원하는 층 에 증착 시킨다. E450 LDM 원자로는 또한 효율적인 전기 격리의 편의를 제공합니다. 즉, 원자로 (reactor) 는 외부 환경에서 발생하는 모든 변화에 관계없이 안정된 방식으로 작동 할 수 있으므로 최고 품질의 결과가 일관되게 달성됩니다. 또한, E450 LDM 원자로는 자주 서비스 및 유지가 필요하지 않습니다. 즉, 사용자는 장치 분해 위험을 실행하지 않고도 장기간 원자로를 작동 할 수 있습니다. 기계는 또한 전체 자산을 항상 최적으로 작동시키는 재순환 냉각 도구 (Re-circulating cooling tools) 를 포함합니다. EMCORE TurboDisc E450 LDM (Low-Density Metal) Reactor 는 사용이 간편한 고성능 툴로서, 금속의 기화가 필요한 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 고급 현장 청소 방법, 높은 증착률, 전기 격리 (electrical isolation) 는 일관되고 신뢰할 수있는 증착 모델을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.