판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9402610

VEECO/EMCORE K465i 듀얼로드 원자로는 첨단 화학 증기 증착 (CVD) 시스템입니다. 이 시스템에는 두 개의 영역, 즉 기판 영역과 소스 영역이 있습니다. 기판 구역에는 로드 락 (loadlock) 이 포함되어 있으며, 2 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있으며 최대 200mm 크기의 기판을 최대 6 개 보유 할 수 있습니다. 소스 존 (source zone) 에는 캐리어 가스 공급 (carrier gas supply) 이 포함되어 있으며, 재료의 분해를 위해 기판에 반응물 가스를 도입하여 원하는 필름 또는 레이어를 형성합니다. 이 원자로는 저강착 속도 (low to high deposition rate) 공정에서 다양한 강착 매개변수로 재료를 처리 할 수 있습니다. 기판 수준의 360도 가열로 인해 탁월한 증착 균일성과 유연성을 제공합니다. 기판은 사전 설정 또는 프로그래밍 가능한 위치 플로터에 의해 소스로부터 독립적으로 관리됩니다. 이를 통해 고정밀 패턴화가 가능합니다. VEECO K465i는 수평 및 수직 가열선을 모두 사용하여 균일성과 온도 조절이 뛰어납니다. 이 시스템은 가스 흐름, 압력, RF, 바이어스 전원 제어, 고급 안전 (safety) 기능과 같은 고급 프로세스 제어를 허용합니다. EMCORE K465i는 또한 특허를받은 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM) 를 특징으로하여 정확한 현장 내 화학 조성 분석을 제공합니다. K465i는 알루미늄 도핑 아연 산화물 (AZO), 비정질 실리콘 (a-Si) 및 카드뮴 셀레 나이드 (CdSe) 와 같은 고온 물질 및 산화물을 포함하여 다양한 고급 물질을 처리하도록 설계되었습니다. 박막 트랜지스터, 태양 전지 및 광검출기의 개발 및 생산에 사용되는 응용 분야를 위해 설계되었습니다. VEECO/EMCORE K465i 는 탁월한 성능, 유연성, 제어 능력을 갖춘 차세대 원자로, 컴팩트하고 안정적인 패키지로 제공됩니다. 편리한 터치 패널 컨트롤과 간편한 설치/작동을 위한 사용자 친화적인 소프트웨어를 통해 안정적이고 사용이 간편합니다 (영문). 또한 프로세스 모니터링 (Process Monitor) 및 사용자 지정 도구 제어를 향상시키는 포괄적인 실험실 도구 모음도 포함되어 있습니다.