판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9364537

VEECO/Ecore VEECO/EMCORE K465i는 고성능 무선 주파수 (RF) 플라즈마 기반 반응성 이온 에치 (RIE) 원자로입니다. 이 장비는 높은 종횡비 구조 에칭, 패턴 링 폴리머, 에칭 사파이어, 금속 정밀 에칭 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. VEECO K465i 기술은 정확하고 품질의 제어를 통해 완벽한 에칭 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 무선 주파수를 사용하여 플라스마를 흥분시키는 최신 플라즈마 기반 RIE 기술을 기반으로합니다. 플라즈마의 고급 RF 형성은 정확하고 반복 가능한 에칭 결과를 보장합니다. 통합 플라즈마 프로파일 제어 기술은 프로세스를 정확하게 제어합니다. EMCORE K465i 에는 독자적인 EMCORE/Ecore 기술이 적용되어 있어 통일성 및 고가용성 구조를 극대화할 수 있습니다. 이것 은 각도 가 있는 "슬롯 '을 가진 전극" 챔버' 가 특징 인 독특 한 전극 설계 때문 이다. 이것은 훨씬 더 큰 에칭 영역을 제공합니다. 또한 효율적이고 반복 가능한 에칭을 위해 회사의 특허를받은 원자 운송 메커니즘과 함께 제공됩니다. K465i는 다양한 주파수와 압력으로 작동하도록 설계되었습니다. 이 범위를 통해 시스템은 금속, 세라믹, 폴리머 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 적절한 제어 및 모니터링을 위해 고급 VFM (Audio Frequency Voltm) 및 압력 컨트롤러가 장착되어 있습니다. VEECO/EMCORE K465i 의 자동 로드 잠금 머신 (Automated Load Lock Machine) 은 지그 또는 단계 없이도 빠르고 반복 가능한 처리 기능을 제공합니다. 이 도구는 빠른 에칭을 위해 높은 입력 전류 기능을 제공합니다. 에셋은 다양한 웨이퍼 크기와 모양으로 작동하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. VEECO/EMCORE/Ecore VEECO K465i는 최신 에칭 기술과 함께 제공되는 신뢰할 수있는 에치 원자로입니다. 정확한 처리로 고속 에칭 프로세스를 위해 설계되었습니다. 고가용성 구조, 고급 오디오 주파수 전압 미터 (VFM) 및 자동 로드 잠금 시스템 (Automated Load Lock System) 용 각도 슬롯과 같은 기능이 장착되어 있습니다. 따라서 에칭, 패턴화, 정밀도 에칭 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.