판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9352112

VEECO/EMCORE K465i는 복합 반도체 및 광전자 재료의 통합 기술 개발 및 생산을 위해 설계된 유도 결합 플라즈마 (ICP) 원자로 유형입니다. 이 최첨단 기술은 RF 전력과 유체 전력의 정교한 조합을 활용하여 고온 플라즈마 (plasma) 와 반응성 가스 (reactive gase) 를 생성합니다. 매우 낮은 수준의 음향 소음 (acoustic noise) 과 작은 발자국 (footprint) 이 특징으로 연구 실험실, 대학 및 산업 제조에 적합합니다. VEECO K465i에는 2 개의 RF 소스와 13.56MHz에서 75-600W, 27.12MHz에서 1-125W의 전력 출력 범위가 있습니다. 또한 조정 가능한 파워 램프 레이트 (rate rate) 를 통해 가스와 이온 밀도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 특수 차폐 설계 (special shielding design) 를 사용하여 자기 (magnetic) 및 자기 (magnetic) 정전기 간섭을 모두 줄여 생산 공정 응용 프로그램에 일관되고 신뢰할 수 있습니다. EMCORE K465i 는 최대 13 개의 가스, 2 개의 액체 및 단일 고체 구성 요소를 사용하도록 설계되었습니다. 공정 제어 기능 (압력, 온도, 이온 에너지 등) 을 통해 광범위한 프로세스 조건 내에서 작동하여 사용자에게 유연성과 제어 기능을 제공합니다. 두 번째 RF 소스를 추가하여, 이 장치는 증착 및 에칭 프로세스에 쉽게 수정됩니다. K465i (K465i) 는 운영 비용이 저렴하고 동급 유사 시스템의 처리량이 최대 3 배에 달하는 프리미엄 시스템입니다. 완전히 통합된 설계로 유지 관리 작업이 최소화되고, 이 장치에는 고급 열 관리 제어 (thermal management control) 알고리즘이 제공됩니다. 이것은 열 구배로 인한 열 (heat) 및 공정 가스 손실 (loss of process gase) 을 방지합니다. 전반적으로 VEECO/EMCORE K465i는 광전자 재료 처리를 위한 고급 온웨퍼 기술을 제공합니다. 고성능 다용도, 최적화된 로드/언로드 시간, 매우 작은 설치 공간 등을 갖추고 있습니다. 리서치 (Research) 와 프로덕션 (Production) 애플리케이션 모두에 적합한 신뢰할 수 있는 고성능 도구입니다.