판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9315632

VEECO/EMCORE K465i는 태양 전지, 기타 태양광 장치, 평면 패널 디스플레이 및 MEMS 개발을 위해 박막 증착을 위해 설계된 고급 공정 원자로입니다. 이 원자로에는 통합 된 수직 마그네트론 (magnetron) 과 마이크로파 (microwave) 소스가 장착되어 있으며 Prodigi ™ 공정의 설계를 기반으로합니다. VEECO K465i는 우수한 증착 균일성, 높은 증착 처리율 및 낮은 결함 수준을 갖추고 있습니다. EMCORE K465i 의 마이크로파 소스를 사용하면 주변 환경의 영향을 받지 않고 최적의 증착률, 구성 속도, 레이어 균일성을 제공하는 고출력 플라즈마 플럼 (Plume Plum) 을 즉시 생성할 수 있습니다. K465i의 오픈 음극 디자인은 박막 태양 전지의 최적화에 이상적입니다. 여기에는 수직 마그네트론과 특별히 설계된 마이크로파 증착원이 포함됩니다. 이를 통해 업계에서 가장 집중적 인 플라즈마 (plasma) 하에서 빠른 증착률로 작동 할 수 있습니다. VEECO/EMCORE K465i 는 깨끗하고 반복 가능한 프로세싱과 저온 박막의 정확한 증착을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 고급 플라즈마 소스와 고급 제어 전자 장치가 포함되어 있습니다. 고급 소스는 박막 증착에서 정밀도를 높이기 위해 고출력 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. 제어 전자 장치는 정확한 펄스 너비, 전력 및 플라즈마 가스 제어를 제공합니다. VEECO K465i에는 종합적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 도 장착되어 있습니다. 이 GUI는 증착 (deposition) 매개변수에 대한 명확하고 상세한 개요와 증착 과정의 플라즈마 (plasma) 사진을 실시간으로 표시하도록 설계되었습니다. EMCORE K465i 는 컴팩트하고 휴대성이 뛰어나며 공간 절약형 편의를 고려하여 설계되었습니다. 이 시스템은 실험실, 산업, 반도체 생산 등 다양한 환경에서 작동 할 수 있습니다. 또한, K465i에는 저류 조건을위한 자동 차단 기능, 비상 비활성 가스 필러, CO2 소화기 및 모듈식 설계 격리 영역 (modular designed containment region) 과 같은 많은 안전 기능이 장착되어 있습니다. VEECO/EMCORE K465i 의 다용도, 신뢰성, 내구성 등은 태양 광 전지, 평면 패널 디스플레이, MEMS 개발 시 박막 증착에 이상적인 선택입니다. 우수한 증착 균일성과 높은 처리율은 사용자 생산성과 처리량을 증가시킵니다. 개방형 음극 설계, 고급 제어 시스템 (Advanced Control System), 종합적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 및 안전 시스템 (Safety System) 이 결합되어 탁월한 제품을 찾는 고객을 위한 포괄적인 증착 플랫폼이 됩니다.