판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9276024

VEECO/EMCORE K465i는 반도체 및 마이크로 전자 장치 제작에서 재료의 박막 증착에 사용되는 저전력 전자 빔 (e-beam) 증착 원자로입니다. 폐쇄 루프 마그네트론 스퍼터링 프로세스를 사용하여, VEECO K465i 원자로는 연구 및 개발, 상업용 증착 프로세스에 이상적입니다. 원자로의 쿠니 마츠 (Kunimatsu) 형 전자 총은 아르곤 가스 (Argon gas) 의 이온화가 플라즈마를 생성하고 원하는 필름 재료의 저압 스퍼터 증착을 가능하게한다. 이 전자 총에는 자동 조리개 정렬이 장착되어 있어, 최적의 증착 매개변수와 부드러운 작동이 가능합니다. 원자로는 챔버, 기질 가열 침대, 전자 총, 기판 척 및 4 개의 4 중 자석으로 구성됩니다. EMCORE K465i 원자로의 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 또는 알루미늄 (aluminum) 으로 구성되며 진공 펌프 및 터보 펌프와 연계되어 기본 압력이 1 µtorr 이하입니다. 원자로 내부에는 전자 총 조립 장치, 수집기, 자기 렌즈 등을 포함하는 전자 빔 (e-beam) 장비가 있습니다. 이 시스템은 느리게 움직이는 스캐너 (scanner) 와 같은 샘플을 스캔하는 얇고 빠르게 움직이는 전자의 빔을 생성하는 데 사용됩니다. 기판 가열 베드는 열전대 온도 센서가있는 저항성 히터로 구성됩니다. 이것은 섭씨 400도의 최대 기판 온도를 허용하며, 이는 온도 조절 장치를 통해 조절 할 수 있습니다. K465i 원자로는 또한 전자 총 (electron gun) 과 관련하여 위아래로 움직이는 평평한 기판 척 (flat substrate chuck) 을 특징으로하며, 샘플 표면의 균일하고 반복 가능한 가열을 제공합니다. 원자로의 4 개의 4 중 자석은 전자를 유도하는 데 사용되며, 안정적이고 집중된 빔을 형성합니다. 이것은 증착 과정의 균일 성과 정확성을 높이는 데 도움이됩니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 의 힘을 제어함으로써 증착율을 다양하게 할 수 있습니다. 이빔 머신의 하드웨어에는 과열 보호, total power monitoring, voltage current stability 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. VEECO/EMCORE K465i 전자 빔 (electron beam) 원자로는 다양한 기능과 기능을 제공하여 박막 증착 프로세스에 이상적인 도구입니다. 최적화된 전자 빔 스캔과 탁월한 균일성을 갖춘 VEECO K465i 원자로는 연구, 개발, 상업적 증착 목적으로 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 제작에 귀중한 자산입니다.