판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9273446
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VEECO/EMCORE K465i 는 고도의 E-beam 원자로로, 반도체, 광학 및 기타 고급 마이크로패브라이션 어플리케이션 제조에서 고정밀 처리를 위해 설계되었습니다. 4 축 동작 제어 장비 (4축 동작 제어 장비) 를 포함하여 다양한 기능이 향상되었으며, 스캔 패턴을 정확하게 조정하고 정렬할 수 있습니다. 결과적으로 고속 증착 및 에칭 프로세스를 통해 매우 정확하고 안정적인 제작 결과를 얻을 수 있습니다. 코어에서 VEECO K465i는 고급 E-beam 기술을 활용하여 강렬하고 집중된 고에너지 전자의 빔을 생성합니다. 이 광선 은 일련 의 "드리프트 튜브 '를 통해 가속 되며, 거기서" 가스' 의 소스 물질 과 상호 작용 하지 않으면 안된다. 그 다음 에 "소오스 '물질 이" 전자 빔' 에 의해 흥분 되고 가속 되어 그 후 기질 에 증착 되는 반응 생성물 이 생성 된다. 이 과정을 통해 매우 훌륭한 증착 제어를 가능하게하며, 궁극적으로 더 높은 수율, 우수한 균일성, 낮은 결함률을 초래합니다. EMCORE K465i 는 최대 500 mA 의 고류 (high current) 범위에서 작동할 수 있으며, 최소 빔 직경은 1 mm 이며, 시간당 최대 10 개의 웨이퍼 처리량을 달성 할 수 있습니다. 고급 4 축 동작 시스템은 최소 빔 정렬 공차 0.5 (Beam Alignment Tolerance) 로 최대 6 인치 직경, 최대 0.015 mm 두께의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 플라즈마 강화 또는 폴리머 코팅 프로세스를 가능하게하도록 장치를 구성 할 수도 있습니다. 안전성 측면에서, K465i 원자로는 직원들이 방사선에 노출되지 않도록 보호하기 위해 다양한 조치를 취합니다. 여기에는 고급 안전 인터 록 (Safety Interlock) 기계, 전원 장애 차단 도구, 수온 및 압력 모니터링을위한 자동 자산이 포함됩니다. 요약하자면, VEECO/EMCORE K465i 는 안정적이고 정밀한 E-beam 원자로로서, 다양한 고급 제작 어플리케이션에서 고정밀 처리를 위해 설계되었습니다. 강력한 4 축 동작 모델, 높은 처리량, 최대 전류 500 mA는 정밀 장치 생산에 이상적인 도구입니다. 또한, 고급 안전 측정 및 자동 모니터링 장비는 안정적이고 안전한 운영을 보장합니다.
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