판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9241368

VEECO/EMCORE K465i는 반도체 재료의 특성을 연구하고 분석하기위한 고급 유도 결합 플라즈마 기반 분석 도구입니다. 이 실험실 등급 원자로는 연구 응용프로그램을 위해 설계되었으며, 다양한 반도체 재료를 측정, 분석, 실험하는 데 사용될 수 있습니다. VEECO K465i는 높은 피크 전력, 고압 유도 결합 플라즈마 기반 원자로로, 심해, 에칭, 증착 및 어닐링 실험을 위해 전극 수준 처리에 사용하도록 최적화되었습니다. 그것 은 독특 한 원형 전도성 "안테나 '형상 을 이용 하여" 플라즈마' 의 결합 효율성 과 기판 에 대한 "챔버 '로의 전력 전달 을 향상 시킨다. EMCORE K465i 는 혁신적인 이중 압력 구조와 2 개의 독자적으로 유지되는 압력 영역을 갖추고 있어 우수한 프로세스 반복성과 강력한 장비 성능을 제공합니다. 고밀도 소스 최적화 및 critical-dimension habit control 애플리케이션을 위해 고에너지 밀도 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. 이러한 플라즈마는 플라즈마 화학 및 조성의 정확한 제어를 위해 실시간 레이저 Ablation Interference Spectrometer로 지속적으로 모니터링 할 수 있습니다. 또한, K465i는 높은 처리량 생산을 위해 설계되었으며, 효율적인 재료 공정 분포 및 균일성을 위해 넓은 면적, 평행판 전극을 포함합니다. VEECO/EMCORE K465i 는 엄격한 연구 요구를 충족하는 강력한 기능과 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 위한 조정 가능한 압력 습도 및 대피 시스템, 고급 정밀 프로세스 타이밍을위한 선형 LFM (Linear Frequency Modulation) 생성기, 전체 도량형 기능이 포함됩니다. 원자로에 온도 균형 챔버 (temperance-balanced chamber) 가 포함되어 있어 일관된 기판을 확보하고 온도를 가공하여 성능을 최적화합니다. 마지막으로, VEECO K465i에는 빠르고 효율적인 실험 설정 및 제어를 위한 완벽한 자동화 시스템이 포함되어 있습니다. 이 제품은 1.27cm 직경의 원형 웨이퍼와 더 큰 장치의 경우 최대 x cm ² 기판을 처리 할 수있는 컴퓨터 제어 로봇 샘플 처리 장치 (computer-controlled, robotic sample handling unit) 를 갖추고 있습니다. 또한, 독점적인 Windows 기반 자동화 머신은 데이터 획득 및 제어가 용이한 반면, 통합 광 (optical) 도구는 실험 특성화에 대한 상세한 이미징 및 분석을 제공합니다. 전반적으로 EMCORE K465i 는 강력한 고급 플라즈마 기반 분석 툴로서, 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 반도체 소자 연구· 분석을 위한 첨단· 반복 (repeitable) 공정이 필요한 연구자와 기술자를 위한 완벽한 도구다.