판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9229288

VEECO/EMCORE K465i는 액체 상 에피 택시 (LPE) 및 산화물/질화물 기반 증착을 위해 설계된 금속 화학적 증기 증착 원자로 (MOCVD) 입니다. VEECO K465i는 LED, 통합 옵틱, 박막 트랜지스터 (TFT) 와 같은 산업 다중 계층 응용 프로그램에 이상적인 높은 처리량 도구입니다. 이 제품은 개별적으로 제어 된 가스 전구체 (gas prevursor) 와 필름 증착의 최대 균일성을 위해 동적 반응 구역 (dynamic reaction zone) 을 갖춘 맞춤형 가스 분배 장비와 처리량 및 수율 최적화를 위해 자동화 된 프로세스 제어 소프트웨어를 갖추고 있습니다. EMCORE K465i는 4 인치 x 2 인치 원자로 튜브가있는 분할 튜브 수직 MOCVD 원자로입니다. 웨이퍼 전체에서 균일 한 다중 성장을 위해 수평 및 수직 가스 흐름을 사용합니다. 기판 가열은 최대 700 ° C에 도달 할 수 있으며, 온도는 직접 가열 시스템 (direct heating system) 및 통합 온도 센서를 통해 균일 할 수 있습니다. 3 단계 터보 펌프는 활성 종 응축 및 효율적인 반응성 가스 전달을 위해 높은 수준의 진공을 제공 할 수 있습니다. K465i는 고정밀 자동 웨이퍼 전송 장치 (high-precision automatic wafer transfer unit), 원자로의 압력과 흐름을 제어하기위한 자동 압력 밸런싱 기계, 맞춤형 리프트 메커니즘, 정밀한 증착 제어를 위한 자동 가스 시퀀싱 (gas sequencing) 을 추가로 보완합니다. 이 제품은 처리량이 높고 Prism crystals, in-situ monitor, automated shadow masking 및 spectroscopy 툴과 같은 고품질 하드웨어 구성 요소가 제공됩니다. VEECO/EMCORE K465i에는 가스 오염 물질을 줄이기 위해 배기 스크러버도 포함되어 있습니다. VEECO K465i (VEECO K465i) 는 동종 계층을 정확하고 효율적으로 대용량 생산할 수 있는 견고하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 도구를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능을 통해 비용 효율적이고 다용도 MOCVD 자산을 원하는 고객에게 이상적인 선택이 됩니다 (영문).