판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9214755

VEECO/EMCORE K465i는 박막 증착 프로세스에 사용되는 견고하고 신뢰할 수 있고 다재다능한 핫월, 저방출, 전자 빔 증착 (EBPVD) 원자로입니다. VEECO K465i에는 압력, 온도, 가스 처리에 사용되는 통합 스테이징 (staging) 장비가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 재료에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 매우 얇은 필름 (thin film) 을 배치할 수 있습니다. EMCORE K465i 시스템은 강력한 전자 빔 소스를 사용하여 최대 5nm/s 의 높은 증착 속도에 도달할 수 있습니다. 인시투 (in-situ) 광학 진단 장치는 박막 성장 과정의 재생성과 반복성을 향상시킵니다. 이 기계는 또한 기판 (기판) 의 어느 시점에서나 필름 성장에 대한 높은 수준의 프로세스 균일성을 제공하며, 특정 응용 프로그램에 대한 프로세스 커스터마이징을 제공합니다. K465i의 핫 월 디자인은 매우 안정적이고 내구성이 뛰어납니다. 또한 핫 월 디자인 (hot-wall design) 은 안정적인 챔버 온도를 유지하면서 필름 성장의 균일 성을 향상시켜 달리기 (run to run) 의 일관된 결과를 제공합니다. 또한 VEECO/EMCORE K465i (VEECO/EMCORE K465i) 는 챔버 (chamber) 구조에서 강력한 내화 물질의 새로운 조합을 사용하여 기판의 재료를 줄이고 높은 수준의 열 저항 및 안정성을 제공합니다. VEECO K465i 원자로는 진공 밀봉 가능한 챔버와 공정 제어 센서 (Process Control Sensor) 및 기타 외부 제어 장치의 설치를 위해 설계된 다양한 포트로 설계되었습니다. 이 도구에는 실시간 필름 특성을 제공하기 위해 현장 프로세스 진단도 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 필름이 유지되고 빠른 피드백 (feedback) 을 제공하므로 엔지니어가 다른 처리 요구에 맞게 매개변수를 조정할 수 있습니다. 탁월한 성능과 함께 EMCORE K465i 는 유지 보수가 적고 사용이 매우 간편합니다. 이동하는 부품이 없으며 디지털 온도 조절 기술 (Digital Temperature Control Technology) 은 작동과 설정이 간단합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 기판 준비에서 증착 후 냉각 및 기판 제거에 이르기까지 완전한 증착 프로세스를 제어합니다. 전반적으로 K465i는 견고성, 신뢰성, 다용도 등으로 인하여 실험실 또는 산업용 어플리케이션에 적합한 씬 필름 (Thin Film) 성장 작업입니다.