판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9172349

VEECO/EMCORE K465i는 다양한 박막 공정을 수행하기 위해 설계된 CVD (chemical vapor deposition) 원자로 유형입니다. 이 특정 유형의 원자로는 차가운 벽 설계를 기반으로하며, 주로 광전자/광자 (optoelectronics/photonics) 와 관련된 산업에서 사용됩니다. VEECO K465i는 CMOS, 유리, SiC 및 GaAs 등 다양한 기판에 유기 및 무기 재료를 증착하기위한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 원자로가 지원하는 기판 크기는 최대 8 인치입니다. 바디, 공정 챔버, 서셉터, 가스 배달 시스템, 전원 공급 장치 및 컨트롤러 등 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. EMCORE K465i 의 알루미늄 본체는 기계적 지원을 제공하는 반면, 공정 챔버 (process chamber) 는 반응물 및 반응 생성물을 함유하고 대피시키는 데 사용됩니다. 증착 과정 중 에 "안심 '과 다소 열" 안테르' 기질 을 고정 시키기 위하여 조절 가능한 "서셉터 '가 반응" 챔버' 상단 에 부착 된다. 가스 전달 시스템은 질량 흐름 컨트롤러 (MFC) 와 유량 미터 (flow meter) 로 구성되며, 이는 전구체 및 기타 반응물 가스에 대한 정확한 계량 및 제어를 제공합니다. 전원 공급 장치 (cluster of power supplies) 는 원자로의 가열 요소를 통과하는 전류 흐름을 제어하는 반면, 제어기는 원하는 온도를 제공하는 역할을 합니다. 마지막으로, K465i의 챔버에는 챔버 가스 (chamber gas) 의 구성과 필름 두께를 모니터링하기위한 반사계 (reflectometer) 를 결정하기 위해 QMS (quadrapole mass spectrometer) 와 같은 수많은 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 전반적으로 VEECO/EMCORE K465i 원자로는 optoelectronics/photonics 산업을 위해 CVD 증착 프로세스를 수행하는 저렴하고 안정적인 수단을 제공합니다. 다양한 기능과 조절 가능한 구성 요소를 갖춘 VEECO K465i (VEECO K465i) 는 다양한 복잡한 박막 프로세스에 적합합니다.