판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9045105

VEECO/EMCORE K465i는 고효율 플라즈마 처리 장비의 현대적 발전을 보여줍니다. 이 정교한 산업용 원자로는 VEECO (VEECO) 와 EMCORE (EMCORE) 의 탁월한 성능과 기능을 결합하여 포괄적이고 완벽하게 통합된 장비를 구축하여 다양한 전자 제품 및 자재 애플리케이션의 처리 처리량을 대폭 향상시킵니다. VEECO K465i는 높은 처리 속도에서 철저한 에치 (유전체, 수동화 된 금속 없음) 및 증착 (CVD) 프로세스를 실행할 수있는 강력한 안정적이고 강력한 처리 능력을 제공하도록 설계되었습니다. 견고한 개방형 (Open-Ended) 설계를 통해 모든 맞춤형 프로세스 개발 및 제어를 위한 최고의 유연성을 구현하고, 가파른 학습 곡선을 보장하며, 출시 시간을 최소화할 수 있습니다. EMCORE K465i 는 2 개의 고유한 프로세싱 챔버를 갖춘 혁신적인 특허 설계를 갖추고 있습니다. 이 챔버에는 최대 512 amps를 제공 할 수있는 여러 전자기 소스 코일과 최대 500W의 전력을 제공하는 RF 웨이브 가이드 (waveguide) 가 있습니다. 이 강력한 소스 구성으로 제공되는 다목적 처리 유연성 (versatile processing flexibility) 은이 원자로 (reactor) 를 통해 기판 크기를 최대 300mm까지 처리 할 수 있으며, 기존의 튜브 원자로를 훨씬 뛰어넘는 속도로 균일성이 뛰어납니다. 열전 냉각 챔버 (thermoelectric cooled chamber) 는 식각 중 기질 웨이퍼 간의 부작용을 방지하여 더 높은 기질 수율 및 처리율을 가능하게합니다. 또한, 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어 시스템은 포괄적인 실시간 프로세스 제어 및 모니터링을 제공하여 전체 제품 사용자 정의를 보장합니다. 이 폐쇄 루프 모니터링 장치는 인간의 실수 또는 예기치 않은 재료 특성으로 인해 우발적 인 프로세스 표류를 방지합니다. K465i에는 고급 진단 및 시스템 보호도 있습니다. 고급 진단 감지 (Advanced Diagnostic Sensing) 기술을 통해 사용자는 세부 항목 내에서, 실제로 진행 중인 작업을 볼 수 있습니다. 이는 다운타임을 줄이고, 운영 비용을 절감하고, 최적화를 실현하는 데 특히 유용합니다. 또한, 이 도구의 혁신적인 안전 시스템은 높은 전력 밀도로 실행 할 때에도 안전하고, 안정적인 작동을 보장합니다. VEECO/EMCORE K465i (VEECO/EMCORE K465i) 는 첨단 원자로 기술의 뛰어난 예로, 광범위한 산업 처리 애플리케이션에 최고의 비용 효율성을 제공합니다. 컴팩트한 설치 공간, 높은 유연성 및 자산 안전 (Asset Safety) 을 통해 플라즈마 처리 요구 사항을 위한 최고의 선택 중 하나입니다.