판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9043781
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ID: 9043781
MOCVD-GaN system, 6"
K465i GaN MOCVD Reactor
K465i Heater Assembly
Wafer Handling Assembly
Laminar Flow Hood
Ebara ESA-25D Pumps
User Interface Swing Arm
Rotary Transfer Assembly
Electronics Control Module
Circuit Breaker Panel 380 VAC
Supply Gas Sub-Assembly
GaN Standard 2xN2, 1xH2 regulator, 2 N2/H2 outputs
All bubblers as quoted
All Slices as quoted
Liquid Refigerator Baths
In-Situ Monitoring System
DRT 210 Real time In-Siture monitor systems
Integrated Electronics Assembly
Model Based Temperature Control
Flow Flange Lift Kit
SECS/GEM
Spare Wafer Carriers 5x6 Qty. 2
MV Particle Filter Maintenance Kit
Filament Maintenance Kit Gen IV Out
Filter Cart Assembly MV KF40
Pyro Kit
Systems utilize shared scrubber, scrubber not included
CE Mark
Tool is currently powered down and main lines are disconnected
2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i는 복합 반도체의 연구, 개발 및 생산을 위해 설계된 고성능 MBE (Molecular Beam Epitaxy) 도구입니다. 이 원자로는 고속 광전자 IC, 데이터 통신 장치, 센서 및 LED 장치와 같은 어플리케이션을 위해 AlGaAs, InGaAs 및 InP를 포함한 광범위한 성장 기능을 제공합니다. VEECO K465i (VEECO K465i) 는 MBE 원자로 라인에서 VEECO 가 제공하는 최신 제품으로, 고밀도 MBE 도구를 찾는 고객에게 적합한 제품입니다. EMCORE K465i 에는 대용량 다중 영역 (Multi-Zone) 대기 제어 장비가 장착되어 있어 온도와 가스 구성을 정확하게 수정하여 전체 웨이퍼를 따라 균일한 환경을 제공합니다. 이 시스템은 승화 및 후속 성장 중 기질을위한 최적의 환경을 제공하며, 결함 형성을 최소화하는 데 도움이됩니다. K465i는 또한 정확한 기판 이동을위한 4 점 샘플 스테이지를 특징으로합니다. 또한 Knudsen 셀, e-beam 및 effusion 셀을 포함한 다양한 소스 시스템을 사용할 수 있습니다. VEECO/EMCORE K465i는 기본 압력 5 mTorr을 제공하는 반면, 시스템은 1 mTorr 및 0.1 mTorr와 같은 더 낮은 압력을 위해 터보 분자 펌프를 장착 할 수 있습니다. 이 저기압은 성장이 진행되는 동안 오염 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. VEECO K465i에는 프로세스 반복성 향상을 위해 진공 내 샘플 및 셔터 컨트롤도 포함되어 있습니다. 이 장치에는 쉽고 직관적인 제어를 위한 특수 소프트웨어 (software) 가 제공되며, 소프트웨어는 MBE 시스템 작동을 위한 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. EMCORE K465i 는 고급 모듈식 툴로, 성장 소유권을 정확하게 제어해야 하는 애플리케이션에 적합합니다. 이 원자로에는 다양한 응용프로그램을 위한 다양한 "액세서리 '가 장착될 수 있다. 여기에는 매우 깨끗한 성장을위한 cryo-shower 시스템, 증착 모니터링 시스템 및 반복 가능한 상태 유지보수를 위한 load-lock이 포함됩니다. K465i는 생산 및 연구 모두에 적합한 매우 다양한 MBE 도구입니다.
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