판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #293587159

VEECO/EMCORE K465i는 반도체 재료 및 장치 제조에 사용되는 원자로 유형입니다. CVD (Chemical Vapor Deposition) 장비로 다양한 응용 프로그램에 고품질의 안정적인 결과를 제공합니다. 프로세스 챔버, 2 구역 쿼츠 승화 소스, 이중 질량 및 2 개의 VEECO 토치 모드를 단일 시스템으로 통합합니다. 공정 챔버는 2 피트의 치수이며 VEECO K465i 장치의 주요 압력 선박입니다. 챔버에는 진공기, 공정 압력 감지 및 제어 기능이 장착되어 있습니다. 소스 (source) 와 배기 시스템 (exhaust system) 으로 구성된 석영 승화 소스는 챔버 내부와 하단에 있습니다. 2 구역 석영 결정화 원 (two-zone quartz crystallization source) 은 챔버에 배치 된 물질을 기화시키고 물질이 가열되면 균일 한 온도 분포를 생성합니다. 이것은 전체 기판 영역에서 균일 한 온도를 제공하여 필름 균일성을 향상시킵니다. EMCORE K465i 이중 질량 도구는 한 영역에서 고온 반응, 다른 영역에서 저온 반응을 허용합니다. EMCORE 토치 모드는 자기장 (magnetic field) 을 사용하여 안정적인 압력과 온도를 유지하면서 전구체 기체의 균일 한 흐름을 생성합니다. 이를 통해 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. K465i 원자로에는 다양한 기판 온도, 압력 및 가스 크로마토 그래프 (Gas chromatograph) 판독값을 모니터링 할 수있는 기능도 있습니다. 또한, 에셋에는 최적의 프로세스 매개변수의 자동 조절을 제공하는 제어 압력 범위 (control pressure range) 가 장착되어 있습니다. 또한 고급 데이터 아카이빙 (Advanced Data Archiving), 그래핑 (Graphing), 이미징 (Imaging) 기능을 통해 프로세스 성능을 한눈에 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로, VEECO/EMCORE K465i 는 효율적이고 효과적인 원자로, 다양한 제조 애플리케이션에 안정적인 결과를 제공합니다. 프로세스 챔버, 2 구역 쿼츠 승화 소스, 이중 질량 장비 및 VEECO/EMCORE 토치 모드가 특징입니다. 모니터링 기능과 고급 데이터 관리 (Advanced Data Management) 기능을 통해 프로세스 결과의 일관성과 정확성을 보장할 수 있습니다.