판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #293585758

VEECO/EMCORE K465i Reactor는 반도체 및 기타 산업에서 사용되는 장치의 대량 생산을 위해 설계된 최첨단 물질 전자 생산 도구입니다. 원자로 는 고전압 "플라즈마 '를 이용 하여 이온 이식 장치 를 생산 한다. 공구에는 AAC (Active-Area Control) 가 있어 연산자가 임플란트 매개변수를 제어할 수 있습니다. 이 디자인은 또한 채우기의 뛰어난 반복성과 균일성을 제공합니다. VEECO K465i 원자로는 (+) 75와 (-) 75kV 사이의 고전압에서 작동하도록 설계되었습니다. 이를 통해 다양한 물질 및 온도에 대한 광범위한 이온 임플란테이션을 제공하는 고 이온 가속 (high ion acceleration) 이 가능합니다. 이 디자인에는 또한 웨이퍼의 다중 축 스캐닝 (multi-axis scanning) 이 포함되어 있어 다양한 활성 영역 (active-area) 모양을 생산할 수 있습니다. 또한이 도구는 XP-27 증착 시스템과 DC-450 대피 챔버를 사용하여 높은 진공 조건에서 우수한 웨이퍼 청결을 제공합니다. EMCORE K465i 원자로에는 울트라 바이올렛 조명을위한 EPS (Enhanced Photon Source) 도 제공됩니다. 이 소스는 실리콘, GaAs 및 GaN과 같은 물질에 대한 광범위한 환경 결정 과정을 가능하게합니다. 이 도구는 또한 최대 8,000 이온/cm2의 높은 피크 이온 플럭스 (ion flux) 를 제공하여 최소 서브 미크론 기능 크기에서도 높은 처리량을 허용합니다. K465i 원자로는 또한 자동 웨이퍼 추적 (Automatic Wafer Tracking) 을 제공하여 공구 작동의 높은 정밀도를 지원합니다. 여기에는 광범위한 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능이 포함되어 있어 와퍼의 정확한 공간 위치를 식별할 수 있으며, 각 노출에 대한 최적의 매개변수를 자동으로 선택할 수 있습니다. 이렇게 하면 미리 교정하는 데 필요한 시간이 줄어들고 최대 수율도 보장됩니다. 또한 VEECO/EMCORE K465i 원자로는 설치/운영 프로세스를 간소화하고 프로세스 매개변수, 장비 진단, 기타 주요 성능 지수에 대한 신뢰할 수 있는 정보를 제공하는 고급 (Advanced) 내장 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 소프트 유지 관리 시스템 (Soft Maintenance System) 을 통해 운영자에게 작업을 실시간으로 파악할 수 있으므로 더욱 쉽게 지원할 수 있습니다. 전반적으로 VEECO K465i 원자로 (VEECO K465i Reactor) 는 우수하고 신뢰할 수있는 생산 툴로, 대량 웨이퍼의 산업 생산에 이상적입니다. 광범위한 기능을 통해 대용량 (High Volume) 생산과 반복 가능한 품질 결과를 얻을 수 있습니다.