판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i GaN #9180276

VEECO/EMCORE K465i GaN (Gallium Nitride) Reactor는 연구원이 화합물의 독특하고 유익한 특성을 사용하여 실험을 수행 할 수 있도록 설계된 전문 원자로입니다. K465i 원자로는 다양한 장치 응용에 대해 고품질 III-V 질화물 화합물 층을 효율적으로 증착 할 수 있습니다. 연구자들은 물질 증착 수율 (material deposition yield) 과 증착 률 (deposition rate) 을 높이고 스트레스를 줄이고 프로세스를 더 잘 제어 할 수 있도록 최적화 된 프로세스 제어 능력을 갖추고 있습니다. K465i 원자로는 폭 30cm, 높이 5cm, 고리 모양 반응실을 사용하여 2 단계 또는 3 단계 구성으로 제작되었습니다. 이를 통해 ICP (inductively coupled plasma) 또는 DC magnetron-sputtering을 사용하여 광범위한 프로세스 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. 또한 K465i에는 효율적인 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 과 반응성 가스 흐름 제어 (reactive gas flow control) 의 혁신적인 혼합이 장착되어 있어 프로세스 제어가 정확합니다. K465i의 독특한 디자인은 연구원들에게 질 높은 재료 증착률과 최소한의 재료 스트레스를 제공하는 균일 성을 제공합니다. 최적화된 층으로 인해이 원자로에서 20 nm 이하의 기능 크기를 달성 할 수 있습니다. 또한, 연구자들은 독점적 인 고급 프로세스 제어 패키지 (advanced process control package) 를 사용하여 프로세스 레시피를 세밀하게 조정하고 프로세스 안정성을 유지할 수 있습니다. 또한 K465i는 전례없는 수준의 프로세스 자동화 및 프로세스 모니터링을 제공합니다. 온보드 진단 제품군 (Onboard Diagnostic Suite) 은 챔버 환경에 대한 통찰력을 제공하는 반면, 종합적인 소프트웨어 패키지는 반복 가능한 프로세스와 자동화된 프로세스 제어를 지원합니다. 이러한 도구를 사용하여 전체 프로세스 개발 시간을 최소화할 수 있습니다 (영문). K465i 원자로는 질화물 III-V 재료에서 발견 된 광범위한 연구 및 응용을 제공하는, 유일하게 상업적으로 이용 가능한 원자로이다. 첨단 제어, 자동 모니터링, 최적화 된 가스 전달 시스템 (Optimized Gas Delivery Systems) 을 통해 이 상태 (State of Art Reactor) 는 혁신적인 질화물 물질 반도체 장치의 연구 및 개발에 이상적인 선택입니다.