판매용 중고 VEECO / EMCORE K465 #9152831

제조사
VEECO / EMCORE
모델
K465
ID: 9152831
웨이퍼 크기: 2"
빈티지: 2008
MOCVD System, 2" Real temp 200 monitoring system DRT-210 Real time In situ monitoring system Curvature of Epi wafer Layer thickness Refractive index Wafer pocket temperature Wafer reflection compensation Source configuration: MO Source: (1) Set TMGa (2) Sets TEGa (1) Set TMAl (1) Set Cp2Mg (2) Sets TMIn (1) Set Lauda RE235 (4) Sets Lauda RE215 thermal baths Currently installed 2008 vintage.
VEECO/EMCORE K465는 반도체 재료 생산에 일반적으로 사용되는 전기 화학 원자로 유형입니다. 원자로 본체와 소스 드레인 어셈블리의 두 부분으로 구성됩니다. 원자로 본체는 금속 코어로 만들어졌으며 도가니, 열전대, 산소 센서, 석영 결정 및 패러데이 컵을 포함합니다. 이를 통해 사용자는 일관된 열 환경을 유지할 수 있습니다. 소스-드레인 어셈블리는 음극, 양극, 전극 및 2 차 에미 터로 구성됩니다. VEECO K465 원자로 (reactor) 는 원하는 반응물을 포함하는 피드 용액을 양극을 통해 본체에 도입 한 다음 직접 전류 전원을 추가함으로써 작동한다. DC 전원은 이온이 음극 (cathode) 에서 양극 (anode) 으로 이동하여 증가 된 압력 및 온도에서 전기 분해 과정을 형성 할 수있다. "에너지 '가 도가니 에 걸리는" 에너지' 가 증가 함 에 따라, 반응물 은 원하는 산물 의 "세트 '를 얻을 때 까지 일련의 반응 단계 를 거치게 된다. 전기 화학 반응은 패러데이 컵, 열전대 및 산소 센서에 의해 밀접하게 모니터링되고 제어됩니다. 패러데이 컵 (Faraday cup) 은 원자로에서 생성 된 전자의 양을 추적하고 반응 환경이 제대로 유지되도록 보장합니다. 열전대 (thermocouple) 는 반응물의 온도를 측정하는 데 사용되며, 반응이 중단되어야하는 정확한 모멘트를 제어하는 데 2 차 에미터가 사용된다. 산소 센서는 반응에 의해 방출 된 모든 가스를 감지하고 사용자가 안전하지 않은 상태를 경고합니다. EMCORE K465 는 여러 가지 안전 기능을 제공하므로, 사용자가 반응 중에 비정상적인 작업을 수행할 수 없도록 보호할 수 있습니다. 자가 진단 프로그램으로, 사용 중에 장애를 감지하거나 진단할 수 있습니다. 반응 챔버에는 과열 보호기 (overheat protector) 와 압력 완화 밸브 (pressure relief valve) 가 장착되어 압력의 갑작스런 변화를 방지합니다. 원자로가 과열 (overheat) 을 시작하거나 반응이 끝나면 자동으로 전원이 꺼집니다. K465는 가장 까다로운 반도체 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 고급 원자로입니다. 즉, 반응 매개변수를 정확하게 제어하여 최고 품질의 제품을 보장합니다. 안전 기능은 사용자에게 안정적이고 안전한 운영을 제공합니다.
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