판매용 중고 VEECO / EMCORE K465 #293768292
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ID: 293768292
빈티지: 2007
MOCVD System
(2) Dry pumps
(4) Boxes
(2) Exhaust exchangers
Filter
Frame
Growth chamber
L Chamber
2007 vintage.
VEECO/EMCORE K465는 III-V 및 II-VI 재료와 같은 복합 반도체의 epitaxial 성장을 위해 설계된 고효율 초박막 원자로입니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 시스템이 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 증착 프로세스가 가능합니다. VEECO K465 (VEECO K465) 는 폐쇄형 튜브 설계를 사용하여 오염을 최소화하면서 빠른 성장 환경을 제공하므로 배치가 적은 광학 및 전기적으로 우수한 레이어를 제공합니다. 또한 증착 중 깨끗한 공정 챔버 대기를 유지하는 펌핑 장비와 챔버 내부의 압력 및 흐름 속도 (Flow rate) 를 정확하게 제어하기위한 가스 매니 폴드 (gas manifold) 가 특징입니다. EMCORE K465 의 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 은 기판 온도, 공정 압력, 가스 흐름 및 기타 매개변수의 훈련과 설정을 자동화하여 증착 과정을 간소화합니다. 이것은 다른 기판 또는 기체를 사용할 때에도 더 높은 수준의 반복 성을 보장합니다. 이 장치는 또한 필름 증착률 (실시간) 을 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 프로세스 제어를 개선하고 결과를 최적화할 수 있습니다. K465 원자로는 뛰어난 공정 균일성과 재현성을 제공하여, 최고 품질의 epitaxially 재배 층을 만듭니다. 작은 면적의 높은 격납용량 (Containment Capacity) 을 갖추고 있어 공간이 제한된 실험실에 적합합니다. 여러 반응 챔버를 병렬로 사용하여 처리량을 증가시킬 수도 있습니다. 또한 VEECO/EMCORE K465 는 운영 비용과 에너지 소비량이 낮아 탁월한 가치를 제공합니다. 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control Machine) 을 사용하면 프로세스 주기가 빠르고 일관되게 유지되므로 프로세스 반복이 줄어들고 에너지 소비가 줄어듭니다. 높은 신뢰성과 일관된 결과도 다운타임을 최소화하고, 운영 시간을 연장합니다. VEECO K465는 높은 처리량 산업 어플리케이션을 위해 안정적인 epitaxial 성장을 제공하도록 설계되었습니다. 복합 반도체 소재· 소자 제작에 이상적인 도구다. 연구용· 산업용 자산이다.
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