판매용 중고 VEECO / EMCORE E450 #9394988
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ID: 9394988
빈티지: 2008
System
Process: GaAs
Product: GaAs LED (Red and yellow)
Config: TMAl, TMGa, TMIn, AsH3, PH3, Mg, Si
Spare parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 1092679 / 50x2" Pockets wafer carrier
(1) / 1090650 / 13x4" Pockets wafer carrier
(1) / 1090581 / 21x3" Pockets wafer carrier
(5) / 1091270-1016-D-B / MFCs 30 SLM
(3) / - / PLC Control circuit boards
(4) / - / Filters
(1) / 1003794 / Heater base E400
(1) / 1016491 / Baffle EII
(1) / 1003780 / E400/E300 Spindle
(1) / 1016306 / Bottom heat shield EII
(1) / 1016307 / Top heat shield, EII
(1) / 1029697 / E450 Filament, outer
(1) / 1005630 / E400 Filament, middle
(1) / 9406E01 / ISOI00 Turbo pump
(1) / 1005552 / -
(1) / 1022551-1003 / E450 Screen diffusion, (2) Port photo ETC
(1) / 1022549 / Ring reactant level
(4) / 1003641 / Outer ring segment 9400 Flow flanges
(1) / 1002115 / VlV Gate pneu, 4"
(1) / 1016457 / E11 Susceptor moly
(3) / 1084355 / MKS 1000T CT27 Baratron, DNET
(4) / 1004766 / Feed through linear motions, 2.75 modification
(1) / 1003932 / Graphite bushing assembly
(4) / 1094048 / Bracket mounting holy shutter
(7) / 9472E01 / Control SSP, 15 Amp, 200-240 V
(8) / 1016309 / 9400 Heater support
(1) / 1013965 / k400 Heater support
(6) / 1005612 / Electro particle shield
(1) / 6403E02 / Fuse sub mini, 3A
(2) / 1003680 / MKS 1000 Torr
(1) / 1026320 / Drive motor, 1/3 HP, 180V, CDP3316 Baldor
(4) / 1004103 / E400 Baffle support
(2) / 1016308 / Electrode connector block outer heaters
(4) / 1003039 / Gaskets silver, 2.75 inch
(2) / 10446 / Gasket Cu Gr, 2.75 x 20.0 Belo/Bon
(4) / 1015365 / VCR Filter, (20) Microns
(24) / 1017391 / Screws
(24) / 6030E01 / Screws
(16) / 6099E03 / -
(16) / 1017391 / Screws
(6) / 6030E04 / Screws
(1) / 1084220-1002 / Screw
(16) / 1084220-1003 / Screws
(6) / 1017392 / Screws
(3) / 6045E01 / Screws
(1) / 6012E02 / Screw
(8) / 6094E03 / Washer locks
(1) / 1022820 / O-Ring, 30"
(1) / 1025867 / O-Ring
(1) / 1084972 / E450 Reactor insert holy
(1) / 10447 / Gasket
(1) / 1002703 / Ball valve, 4"
2008 vintage.
VEECO/EMCORE E450 Reactor는 박막 및 반도체 재료의 증착 과정을 위해 설계된 표면 실장 장비입니다. 표준 구성으로는 3.3kW 전자 빔 건과 5.5kW RF 소스가 있습니다. VEECO E450은 0.2 ~ 800 W의 전력, 20 ~ 400 도의 기판 온도 범위, 10-6 ~ 10-7 mbar의 챔버 압력을 포함하여 광범위한 작동 매개변수를 제공합니다. RF 플라즈마 소스 (Plasma Source) 는 필름 증착 과정을 제어하며, 필름 성장에 가장 높은 주파수를 갖는다. 국제 표준을 능가하는 울트라 하이 진공 품질을 제공합니다. 또한 EMCORE E450 은 최근 운영 효율성을 높이고 유지 보수 비용을 절감하는 새로운 PC 제어 시스템을 채택했습니다. 고급 및 강화 된 요소로, E450은 빠른 열 처리, 광석판 촬영, 화학 증발, 스퍼터링 및 박막 증착 등 다양한 응용 분야에 활용 될 수 있습니다. 또한, 이 원자로 모델은 다양한 공정 개발을 위해 여러 개의 챔버 (chamber) 로 구성 될 수 있으므로 매우 유연합니다. 이 시스템은 또한 무제한 프로그램 저장 기능, 진공 데이터의 실시간 디스플레이, 사이클 시퀀싱 기능, 그래픽 사용자 인터페이스 등을 갖추고 있습니다. VEECO/EMCORE E450 Reactor 는 효율적이고 사용자 친화적인 솔루션으로, 서로 다른 기술에 대한 여러 시스템의 필요성을 줄여 비용을 최소화합니다. 고급 설계 (Advanced Design) 및 유연성 (Flexible) 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 적합한 솔루션으로, 신속한 처리 시간을 허용할 수 있습니다. 직관적인 제어 (controls) 는 사용자가 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있도록 해 주며, 이는 연구와 생산에 이상적인 도구입니다. VEECO E450 (E450 Reactor) 을 도입하면 생산성과 안정성을 향상시키면서 비용과 에너지 소비를 동시에 줄일 수 있습니다.
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