판매용 중고 VEECO / EMCORE E450 #9283634

VEECO/EMCORE E450 (VEECO/EMCORE E450) 원자로는 전자 및 광전자 업계의 다양한 응용 분야를 위해 단일 및 다중 계층 박막 (thin film) 을 기판에 배치하는 데 사용되는 특수 도구입니다. 현재 이용 가능한 가장 상용화된 LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비를 대표하여 고급 박막 처리 및 재료 엔지니어링을위한 강력한 도구입니다. VEECO E450 원자로에는 자동 Quartz 보트 어셈블리가 장착되어 있으며, 크기는 최대 4 "x 6" 인 최대 12 개의 개별 기판 또는 1 개의 4 "x12" 기판을 적재 할 수 있으며, 각 기판 위치는 최적의 두께와 증착 균일성에 맞게 조정됩니다. 전기 가열 요소는 정확한 온도 제어를 가능하게하며, 고급 응용 프로그램 별 처리에 사용할 수있는 4 개의 추가 가열 영역이 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 40 초 미만의 변경 시간으로 배치 (batch) 또는 연속 (continuous) 작업을 수행할 수 있으며, 프로세스 매개변수를 변경할 필요 없이 필요에 따라 프로세스를 사용자 정의할 수도 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 한 번에 최대 5 개의 프로파일을 저장할 수있는 특수 소프트웨어 프로그램에 의해 제어됩니다. ··· 정확 한 증착율, 온도, 압력 범위 를 모두 조정 하여 원하는 결과 를 달성 할 수 있으며, 증착 되는 "박막 '의 성질 을 최종적 으로 조작 할 수 있는 증착원 은 최대 4 개 에 이른다. 이 소프트웨어는 또한 증설 프로세스 (deposition process) 를 실시간으로 모니터링하고, 검토를 위해 다양한 프로세스 데이터 (process data) 를 수집할 수 있습니다. 또한 EMCORE E450 원자로는 과열 (over-temper) 및 과압 탐지 시스템 (over-pressure detections system) 을 비롯한 다양한 안전 기능과 작동 중 반응성 가스를 올바르게 처리하기 위한 자동 제거 기능으로 설계되었습니다. 진공 장치 (vacuum unit) 에는 오염으로부터 추가로 보호하기위한 오일 미스트 (oil-mist) 필터가 포함되어 있으며, 기계는 간단한 청소 절차를 통해 최소한의 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 원자로는 또한 RoHS를 준수하며 최신 국제 안전 표준에 적합합니다. 간단히 말해서, E450 원자로는 탁월한 온도, 압력 제어, 다양한 애플리케이션별 처리 옵션을 제공하는 강력하고 고급 박막 증착 도구 (Thin Film Deposition Tools) 로, 사용자가 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 원자로의 소프트웨어 기반 제어 도구 (Software-Driven Control Tool) 와 안전 (Safety) 기능은 안정적이고 정확한 박막 증착을 찾는 모든 전자 제품 또는 광학 제조업체에 적합한 옵션입니다.