판매용 중고 VEECO / EMCORE E450 #9255826

VEECO/EMCORE E450은 웨이퍼 처리를 위해 설계된 수평 핫 월, RIE (Reactive Ion Etching) 원자로입니다. 4 인치, 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. VEECO E450 (VEECO E450) 은 자동 웨이퍼 처리 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 원자로실 안팎으로 빠르게 웨이퍼를 로드/언로드하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 약실의 최소 온도는 25 ° C이며, 에칭 중 정확한 온도 조절이 가능합니다. EMCORE E450 은 금속 튜브 (metal tube construction) 를 갖추고 있으며, 불활성 (비 반응성) 가스 제거 환경을 갖춘 이중 유형 엔클로저에 사용하도록 설계되었으며, 이를 통해 오염의 위험이 최소화된 광범위한 물질을 에칭할 수 있습니다. 원자로는 O2, Ar, SF6, Cl2, BCl3 및 결합 된 가스를 포함한 다양한 가스로 실행되도록 설계되었습니다. 낮은 입자 오염을 통해 수율 및 제품 품질이 높은 IC 마이크로 칩을 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 다운 스트림 가스 전달 장치 (down-stream gas delivery unit) 를 갖추고 있으며, 이는 고순도 반응성 및 공정 가스의 안정적인 전달을 보장합니다. 기판 구성에서는 원하는 응용 프로그램에 대한 에칭 프로세스를 최적화하기 위해 압력 (pressure), 흐름 (flow), 온도 (temper), 가스 혼합 (gas mix) 및 전력 (power) 과 같은 다양한 프로세스 매개변수를 사용할 수 있습니다. E450에는 또한 VUV (Vacuum Ultra Violet) 및 RF (Radio Frequency) 전원 공급 장치가 있으며 프로세스 조건에 대한 정밀 제어 및 좋은 웨이퍼 대 웨이퍼 균일성을 보장합니다. VEECO/EMCORE E450 은 신뢰성 있고 견고한 원자로 기계로, 실리콘, 실리케이트, 폴리머 등 다양한 기판을 에칭하도록 설계되었습니다. 즉, 고성능 표준을 충족하는 강력한 결과를 제공하여 깨끗하고 정확한 에칭을 보장합니다. 원자로 (Reactor) 는 사용자에게 친숙한 도구로서, 빠른 설정과 프로세스 최적화를 위한 프로그래밍 가능한 매개변수를 위한 간단한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 만능 VEECO E450 (VEECO E450) 은 안정적이고 강력한 자산으로, 반도체 소자 제조에서 생산에 적합한 제품입니다.