판매용 중고 VEECO / EMCORE E450 #9255825

VEECO/EMCORE E450 Reactor는 고온 또는 고에너지 처리가 필요한 소재의 박막을 증착할 수있는 고성능, 소형, 올인원 증착 장비입니다. MOCS, IBAD, RF/DC Magnetron Sputter 및 AES/PECVD와 같은 다양한 증착 기술에 적합한 완전히 프로그래밍 가능한 고성능 및 소형 원자로를 갖추고 있습니다. VEECO E450은 또한 액체 질소 (LN2), 수소/헬륨 혼합물, 흐르는 수소/헬륨 혼합물 및 수소/헬륨 기화기와 같은 다양한 가스 소스와 호환됩니다. EMCORE E450 은 균일성과 높은 속도로 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 최대 20 keV의 이온 에너지를 제공 할 수있는 고성능 DCIS (direct cathode ion source) 가 있습니다. 또한 최대 25kW의 전력을 가진 이중 주파수 마그네트론 스퍼터 소스를 가지고 있습니다. 내장형 고성능 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 마스터 슬레이브 동작 컨트롤러 (Master Slave Motion Controller) 는 균일 한 필름을 생산해야 하는 힘과 정밀도로 정밀한 프로세스 제어를 가능하게 합니다. E450의 컴팩트성은 제한된 공간에서 다양한 프로세스에 이상적입니다. 다음 시스템 크기의 1/2 미만인 작은 설치 공간이 있으며, 총 적재 중량은 570 파운드 (lb) 에 불과합니다. 또한 온도, 압력 및 기타 기계 변수를 모니터링하고 이러한 변수 중 하나가 안전 한도를 초과하면 도구를 종료합니다. VEECO/EMCORE E450 은 연구 개발, 프로토타이핑 및 높은 수준의 생산에 적합합니다. 공정 제어 (process control) 기능을 제공하며, 고도의 증착 기능을 통해 대용량 애플리케이션에 적합합니다. VEECO E450에는 다양한 고성능 박막 프로세스가 가능합니다. 디스플레이, 광학, 반도체, MEMS 장치 등 다양한 응용 프로그램을 다룰 수 있습니다. 즉, 통합 전원 공급 장치와 제어 시스템 (Control System) 을 통해 쉽게 작동하여 신속하게 설치할 수 있습니다.