판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 #9395073

VEECO/EMCORE E400 Reactor는 다양한 photonic 집적 회로를 만드는 데 사용되는 고급 반도체 제작 도구입니다. 일반적으로 Semiconductor 광학 증폭기, Mach-Zehnder Interferometers 및 DFB 레이저와 같은 복잡한 광자 집적 회로의 설계 및 생산에 사용됩니다. VEECO E400 Reactor는 최대 300mm 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 이를 통해 VCSEL과 HD-LED와 같은 소규모 광자 장치 생산에 사용할 수 있습니다. EMCORE E400 Reactor 는 초고속 진공, 사진 분석, 임베디드 증착 및 반응성 이온 에치 시스템을 포함하는 다중 영역 다단계 프로세스를 사용합니다. 이를 통해 필름 레이어의 증착과 구조물의 에칭 (etching) 을 정확하게 제어 할 수 있습니다. E400 Reactor는 미세한 기능을 최대 0.25 "m '까지 생산할 수 있으며 최대 10: 1의 화면 비율을 제공합니다. VEECO/EMCORE E400 원자로 (Reactor) 는 다양한 소스와 탐지기 (detector) 를 사용하여 생산에 사용되는 모든 물질을 금속에서 유전체로 가장 정확하게 증착합니다. 이 시스템에는 광대역 UV 노출을 생성하는 4 개의 열 장착 쿼츠 램프가 포함되어 있으며, 19 개의 초보라형 레이저 다이오드는 고밀도 패턴화를 위해 라인 스캔 이미징을 제공하는 데 사용됩니다. "레이저 '" 다이오드' 는 또한 여러 층 을 동시 에 노출 시킬 수 있게 해 주며, 여러 광자 장치 의 고속 산업 생산 을 가능 케 한다. VEECO E400 Reactor에는 박막 재료의 CVD 형 증착을위한 가스 분사 시스템도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 증착 과정 을 정확 히 제어 할 수 있으며, 일관성 있는 "필름 '성질 을 얻을 수 있다. 또한 EMCORE E400 Reactor 에는 기판 표면의 빠른 에칭을 위한 고속 터빈이 포함되어 있어 높은 화면 비율의 기능을 만들 수 있습니다. 전반적으로, E400 원자로는 다양한 광자 집적 회로의 정밀 생산이 가능한 고급 도구입니다. 독자 소스와 탐지기 (detector) 가 박막을 정확하게 증착 할 수있는 반면, 고속 터빈 (turbine) 은 재료를 빠르게 에칭하는 것으로 매우 정확합니다. 이 최첨단 도구는 높은 정확도와 속도로 산업 규모의 다양한 광자 집적 회로 (photonic integrated circuit) 를 생산할 수 있습니다.