판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 #9302576

VEECO/EMCORE E400 Reactor는 다양한 박막 성장 애플리케이션에 사용하도록 설계된 범용 원자로 도구입니다. 이 원자로는 형성 (forming), 에칭 (etching), 재료 증착 (material deposition), 어닐링 (annealing) 등 여러 응용 프로그램을 지원하는 기능을 통해 뛰어난 성능을 제공하는 수직 지향 시스템입니다. 독특한 디자인은 고온 영역 (일반적으로 250 -600 ° C), 중간 온도 영역 (일반적으로 100-400 ° C) 및 저온 영역 (일반적으로 50-300 ° C) 의 3 가지 열 영역으로 구성된 상부 부분을 특징으로합니다. 이 영역은 서로 무관하며, 정밀한 온도 조절 (temperature control) 을 제공하고, 고온 과정이 진행되는 동시에 저온 (low-temperature) 프로세스가 발생할 수 있습니다. 원자로는 고유한 대칭 플랜지 (symmetric flange) 유형의 로드 록 (loadlock) 설계를 통해 소스와 기판 사이의 서로 다른 기판 크기와 상대 운동을 허용합니다. 이렇게 하면 공구에 유연성이 추가되어 인공위성 (satellites) 이나 다른 원통형 (cylindrical) 모양의 기판 (기판) 과 같은 제곱이 아닌 기판에 필름을 증착할 수 있습니다. VEECO E400 (Dual-Bay Design) 은 성능 또는 생산성을 저하시키지 않고 더 많은 프로세스를 동시에 수행할 수 있으므로 프로세스 유연성이 향상됩니다. EMCORE E400은 또한 저압/고압 고압/고압 플래시 램프, DC (Direct Current) 및 RF (Radio Frequency) 스퍼터 증착, 이온화 된 물리적 증기 증착 (iPVD) 증착 증착 및 금속성 화학적 증착을 포함한 광범위한 공정 챔버 기능을 갖추고 있습니다. Vocition Vchemical 새로운 Hot Re-packaging 기능을 통해 다양한 프로세스에서 더 빠른 재료 증착이 가능합니다. 또한, 원자로는 고품질 공정 결과를 제공하는 1000 Torr/sec 이상의 빠른 가스 압력 변화율을 갖습니다. E400 Reactor는 대용량 기판, 고정밀 필름 증착 (High Precision Film Deposition), 향상된 재료 처리량 또는 고출력 (High Power) 기능이 필요한 차세대 제품을 개발하는 데 이상적인 고급형 고가용성 도구입니다. 고급 열 관리 및 균일성, 다중 영역 유연성, 높은 처리량, 저온 호환성, 고전력 기능으로, 성능 또는 효율성이 최우선 과제인 많은 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.