판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 #9265822

제조사
VEECO / EMCORE
모델
E400
ID: 9265822
빈티지: 2010
Systems Process: GaAs 2010 vintage.
VEECO/EMCORE E400 원자로는 광전자 장치 제조를 위해 설계된 최첨단 기판 처리 장비입니다. VEECO E400 원자로는 저온, 저압 수소 및 암모니아 주변을 사용하여 저렴한 비용으로 최적화 된 박막 증착 환경을 만듭니다. 이것은 광전자 장치의 제조를위한 실리콘 (silicon) 및 저마늄 (germanium) 과 같은 다양한 재료의 고품질 균일 한 코팅을 생성합니다. 수소와 암모니아의 해리로 형성된 반응성 플라즈마 (reactive plasma) 는 독특한 증착 과정을 생성하며, 이는 기질에 에피 택시 (epitaxial) 또는 다결정 (polycrystalline) 층을 생성하는 데 적합하다. EMCORE E400 의 프로세스는 컴퓨터화된 네트워크 컨트롤러 (Computerized Networked Controller) 를 통해 신중하고 정확하게 제어되며, 이는 전 세계 어디에서나 원격으로 액세스할 수 있습니다. E400은 다양한 기판에 얇은 레이어 (thin layer) 를 생성하는 등, 광전자 장치 제작을위한 완전 자동화 시스템입니다. 전자 빔 증발기, 쿼츠 크리스탈 모니터, 균일 한 증착을위한 회전 지그를 사용하여 작동합니다. 전자빔 증발기 (Electron Beam Evaporator) 는 소스 재료를 증발시켜 원하는 재료를 균일 하게 코팅하는 반면, 쿼츠 결정 모니터 (Quartz Crystal Monitor) 는 퇴적 레이어의 변화를 감지하고 컨트롤러가 필요에 따라 조건을 조정 할 수 있습니다. 회전 지그는 레이어의 정확하고 심지어 증착을 용이하게합니다. VEECO/EMCORE E400 원자로는 고급 모니터링, 제어 및 데이터 수집 기능도 갖추고 있습니다. 모든 공정 은 "컴퓨우터 '화 된" 네트워크' 를 통하여 감시 되고 제어 되므로 용광로 온도 와 증착 속도 를 온전 히 조절 할 수 있다. 또한, 이 장치는 모든 모니터링 프로세스의 데이터를 저장하여 나중에 품질 관리 (Quality Control) 및 프로세스 최적화 (Process Optimization) 에 사용할 수 있습니다. VEECO E400 원자로는 기판에 고품질의 균일 한 코팅을 만드는 효율적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 고급 자동 제어 (Automated Control) 및 모니터링 (Monitor) 기능을 통해 저렴한 비용으로 최적의 박막 증착 조건을 구현할 수 있습니다. 또한, 고급 기술을 사용하면 레이어의 품질과 균일성이 일관되게 유지되므로, 탁월한 광전자 (optoelectronic) 장치 제작 결과를 제공합니다.
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