판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 #9029117

VEECO / EMCORE E400
제조사
VEECO / EMCORE
모델
E400
ID: 9029117
MOCVD System Configured for GaN process E400 As/P GaAs: 42" x 2" (7) MO Source lines Sources: TMIn-1, TMAl-1, TMAl-2, TMGa-1, TMGa-2, DETe, Cp2Mg Hydride source line: AsH3, PH3, Dopant A Epison III for TMIn-1.
VEECO/EMCORE E400 원자로는 도핑, 에칭, 재료 증착 등 여러 프로세스에 사용되는 고급 유형의 화학 가공 장치입니다. VEECO E400은 BOSCH, CVD 및 이온 이식 (ion implantation) 과 같은 반도체 기반 응용 프로그램부터 금속 및 산화물과 같은 재료의 증착에 이르기까지 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. EMCORE E400 은 빠르고 효율적인 원자로로서, 높은 처리량, 뛰어난 전환 시간, 최고 수준의 프로세스 품질을 자랑합니다. E400은 특허를 획득한 멀티 챔버 (multi-chamber) 설계를 통해 열 예산이 낮은 매우 효율적인 속도로 최고 스테이크 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 원자로 설계 역시 확장 (scale up or down) 하기 쉬우므로 광범위한 프로세스에 사용할 수 있습니다. VEECO/EMCORE E400 에는 플라즈마 및 열 처리를 모두 지원하는 온보드 핫 스테이지 쿼츠 커버가 있습니다. 또한 공정 챔버 (process chamber) 를 정확하게 제어 할 수있는 고급 진공 기술을 갖추고 있습니다. 또한, VEECO E400 원자로에는 재료를 통제 할 수있는 조절 가능한 고온 에너지원이 장착되어 있습니다. 고급 "가스 '매니 폴드' 장비 는 신속 히 변화 하고 정확 하고 제어 된" 가스 '의 흐름 을 제공 해 준다. 이 원자로 에는, 사용 하기 쉬운, 그리고 효율적 인, 신빙성 있는, 자동화 된 재료 전달 장치 가 장착 되어 있다. 또한 방전이나 가동 중지 시간 없이 처리 조건을 정확하게 조정할 수 있는 강력한 온도 조절 장치 (temperature control unit) 를 갖추고 있습니다. EMCORE E400 에는 직관적인 인간 시스템 상호 작용 인터페이스가 장착되어 있어, 디바이스를 쉽게 작동할 수 있습니다. E400에는 고급 데이터 로깅 (Data Logging) 및 분석 소프트웨어 (Analysis Software) 가 장착되어 있어 사용자가 처리 결과를 평가하고 잠재적 처리 문제를 감지할 수 있습니다. 이 기능은 VEECO/EMCORE E400 을 안정적이고 일관성 있는 원자로로 만들며, 이를 통해 일관되고 반복 가능한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 일반적으로, VEECO E400은 반도체 기반 응용 분야에 적합한, 고급적이고 효과적인 원자로입니다. 높은 효율성, 정확한 제어 능력, 신뢰할 수 있는 성능을 견고하고 신뢰할 수 있는 사용자 친화적 인터페이스와 결합한 일체형 (All-In-One) 장치입니다. EMCORE E400 은 생산과 처리 결과를 최적화하고자 하는 모든 화학 가공 기계 (chemical processing machine) 의 중요한 부분입니다.
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