판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 #9017783

VEECO/EMCORE E400 은 반도체 프로세싱 및 기타 업계에 사용하도록 설계된 원자로의 한 유형입니다. 에너지 범위가 최대 400kV, 현재 범위가 최대 20mA 인 고해상도 전자 빔 (e-beam) 장비입니다. 이 시스템은 다양한 응용 프로그램 별 처리를 갖추고 있으며, 정밀도는 확산, 이식, 스퍼터링 및 코팅 응용 프로그램 요구를 위해 최적의 솔루션을 제공합니다. VEECO E400은 다양한 역할 설정에서 사용할 수 있으며, 프로덕션 및 R&D 모두에 대한 구성이 포함되어 있습니다. 이 장치의 핵심 구성 요소에는 200mm 또는 300mm 공정 챔버, 진공 기계, 고출력 전자 빔 열, 질화 갈륨 (GaN) 전자 총, 전계 방출 음극 및 빔 전류 측정 도구가 포함됩니다. 측정 도구. 이 자산은 구성이 용이하며, 도펀트 (dopant) 및 재증착 기술, 초고해상도 이미징 등 다양한 애플리케이션 조합을 지원합니다. EMCORE E400 은 단일 및 다중 단계 프로세스에 필요한 에너지와 강도를 정확하고 빠르게 제공하는 자가 교정 전자 빔 (self-calibrating electron beam) 으로 인해 전자 빔 프로세싱에서 탁월한 정밀도를 제공합니다. 이 피쳐는 모델의 활성 (Active) 및 수동 (Passive) 빔 전류 제어와 결합하면 정밀한 빔 프로파일링과 뛰어난 오버레이 정밀도를 생성합니다. 이 장비는 또한 다양한 SEM/STEM 이미징 모드와 함께 사용할 수있는 고급 고대비 이미징 (고대비) 을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 신뢰성이 뛰어나며, 성능에 차이가 있을 때 하드웨어와 소프트웨어 모두 자체 모니터링 (self monitor) 및 경고 (alert) 연산자 (operator) 를 위해 설계되었습니다. 안전 기능에는 프로그래밍 가능한 전원 임계값과 이중 냉각 장치가 포함됩니다. 사용자에게 친숙한 추가 기능에는 전원 제어 메뉴 (power control menu) 와 원격 제어 액세스 (remote control access) 가 포함되어 있어 직원들이 원격으로 시스템을 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 E400은 정밀한 프로세스 제어 및 광범위한 응용 프로그램을 제공하는 고정밀 전자 빔 (electron-beam) 원자로입니다. 탁월한 사용 편의성과 뛰어난 정확성을 통해 고객은 고품질 (High-Quality) 프로세스 결과를 얻을 수 있으며, 개별 고객 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다.